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氧化铝模板孔洞内化学气相沉积法生长Ge纳米线

中文摘要第1-6页
英文摘要第6-8页
第一章 引言第8-10页
第二章 文献综述第10-28页
 2.1 纳米材料的简介第10-12页
 2.2 纳米半导体的独特性质第12-14页
 2.3 纳米线材料的合成第14-20页
 2.4 纳米线材料的应用第20-22页
 2.5 Ge纳米线的研究现状第22-24页
 2.6 立题思路和意义第24-26页
 参考文献第26-28页
第三章 纳米多孔氧化铝模板的研制第28-43页
 3.1 氧化铝模板的结构第28-29页
 3.2 实验过程第29-33页
  3.2.1 仪器设备与电极材料第29-30页
  3.2.2 工艺流程第30-32页
  3.2.3 多孔氧化铝模板的表面形貌表征第32-33页
 3.3 实验结果分析和讨论第33-41页
  3.3.1 铝阳极氧化的电极反应第33-34页
  3.3.2 恒压下铝阳极氧化的电流密度和时间的关系第34-35页
  3.3.3 铝阳极氧化膜的厚度与阳极氧化时间的关系第35-36页
  3.3.4 电场的均匀性对氧化铝模板的影响第36-39页
  3.3.5 第一步阳极氧化时间对氧化铝模板的影响第39-41页
 3.4 结论第41页
 参考文献第41-43页
第四章 在氧化铝模板孔洞内沉积Ge纳米线第43-61页
 4.1 实验过程第43-49页
  4.1.1 LPCVD生长系统简介第43-45页
  4.1.2 实验中采用的纳米多孔氧化铝模板的性质第45-48页
  4.1.3 Ge纳米线的生长工艺第48-49页
 4.2 实验结果分析和讨论第49-60页
  4.2.1 生长温度对Ge晶体结构的影响第49-51页
  4.2.2 气源流量对Ge的形貌的影响第51-54页
  4.2.3 Ge纳米线的性质第54-58页
  4.2.4 Ge纳米线生长机制的探讨第58-60页
 4.3 结论第60页
 参考文献第60-61页
第五章 实验总结第61-62页
致谢第62-63页

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