| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·源作用钢靶材的实验原理 | 第7-8页 |
| ·源作用等离子体的国内外研究现状 | 第8-9页 |
| ·等离子体的光谱诊断 | 第9-10页 |
| ·本课题研究的内容 | 第10-11页 |
| 第二章 激光等离子体特性概述 | 第11-15页 |
| ·等离子体 | 第11页 |
| ·谱线展宽机制 | 第11-12页 |
| ·等离子体电子温度 | 第12-13页 |
| ·等离子体电子密度 | 第13-14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 第三章 电弧源作用下等离子体特性研究 | 第15-20页 |
| ·实验装置及方法 | 第15-16页 |
| ·纯电弧条件下等离子体参数分析 | 第16-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第四章 双源作用下等离子体特性研究 | 第20-37页 |
| ·实验装置及方法 | 第20-22页 |
| ·电流源对等离子体的影响 | 第22-27页 |
| ·激光源对等离子体的影响 | 第27-31页 |
| ·纯电弧源与双源作用下等离子体参数对比 | 第31-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第五章 总结与展望 | 第37-38页 |
| 致谢 | 第38-39页 |
| 参考文献 | 第39-40页 |