| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·MEMS技术 | 第9-10页 |
| ·硅各向异性腐蚀及其模拟方法研究 | 第10-12页 |
| ·元胞自动机技术研究 | 第12-14页 |
| ·元胞自动机概述 | 第12-13页 |
| ·元胞自动机的分类 | 第13-14页 |
| ·GPU技术发展概述 | 第14-16页 |
| ·论文研究目的和组织结构 | 第16-19页 |
| 第2章 面向硅各向异性腐蚀模拟的传统元胞自动机模型 | 第19-25页 |
| ·传统元胞自动机在硅各向异性腐蚀模拟中的应用 | 第19-21页 |
| ·传统元胞自动机的模拟过程 | 第21-22页 |
| ·传统元胞自动机模型的局限 | 第22页 |
| ·本章小结 | 第22-25页 |
| 第3章 面向硅各向异性腐蚀模拟的两级元胞自动机模型 | 第25-31页 |
| ·两级元胞自动机模型 | 第25-27页 |
| ·两级元胞自动机超级步长的确定 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 第4章 腐蚀面并行化模拟 | 第31-37页 |
| ·传统元胞自动机的串行实现方法 | 第31-32页 |
| ·传统元胞自动机的腐蚀面并行方法 | 第32-34页 |
| ·两级元胞自动机的腐蚀面并行方法 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第5章 全衬底并行化模拟 | 第37-43页 |
| ·传统元胞自动机模型的全衬底并行方法 | 第37-39页 |
| ·两级元胞自动机模型的全衬底并行方法 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第6章 实验 | 第43-61页 |
| ·腐蚀速率与时间步长 | 第43-45页 |
| ·时间补偿 | 第45-47页 |
| ·寻邻矩阵 | 第47-50页 |
| ·扩展的生命削减值数组 | 第50-52页 |
| ·实验条件 | 第52-53页 |
| ·对照实验 | 第53-57页 |
| ·串行方法与腐蚀面并行方法比较 | 第54-56页 |
| ·串行方法与全衬底并行方法比较 | 第56-57页 |
| ·实验分析 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第7章 讨论及总结 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
| 附录Ⅰ 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第69页 |