| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| ·低温等离子体概述 | 第9-14页 |
| ·低温等离子体的诊断方法 | 第14-16页 |
| ·Langmuir 探针诊断系统的研究现状 | 第16-17页 |
| ·本文工作的内容和意义 | 第17-19页 |
| 2 Langmuir 探针原理 | 第19-30页 |
| ·Langmuir 探针概述 | 第19-21页 |
| ·Langmuir 探针的工作原理 | 第21-27页 |
| ·Langmuir 探针测量过程中应注意的问题 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 实验方法和设备 | 第30-57页 |
| ·Langmuir 探针测量系统简介 | 第30-32页 |
| ·大面积表面波等离子体源 | 第32-34页 |
| ·Langmuir 探针的设计 | 第34-35页 |
| ·系统数据采集部分设计 | 第35-49页 |
| ·系统数据分析部分 | 第49-51页 |
| ·提高测量系统整体精度的方法 | 第51-53页 |
| ·用于射频等离子体的Langmuir 探针技术探讨 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 4 Langmuir 探针测量系统的应用及结果分析 | 第57-68页 |
| ·测量实验说明 | 第57页 |
| ·数据采集及数据分析实例 | 第57-63页 |
| ·实验结果及分析 | 第63-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 5 总结与展望 | 第68-71页 |
| ·总结 | 第68-69页 |
| ·展望 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第76-77页 |
| 附录2 数据采集程序框图 | 第77-78页 |
| 附录3 数据处理程序框图 | 第78页 |