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硅纳米线的制备及场发射特性研究

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
1 绪论第10-17页
   ·硅纳米材料的研究意义第10-11页
   ·硅纳米线的制备方法第11-14页
   ·硅纳米线的应用第14-16页
   ·课题主要研究内容第16-17页
2 金属辅助化学腐蚀法制备硅纳米线第17-23页
   ·实验机理第17-18页
   ·实验过程第18-19页
   ·样品形貌表征第19-21页
   ·样品XRD测试第21-22页
   ·本章小结第22-23页
3 用阳极氧化铝(AAO)模板制备有序硅纳米线阵列第23-28页
   ·AAO模板简介第23页
   ·AAO模板制备第23-24页
   ·AAO模板表征第24-25页
   ·有序硅纳米线阵列制备第25-27页
   ·本章小结第27-28页
4 硅纳米线的场发射特性研究第28-34页
   ·场发射理论简介第28-29页
   ·场发射测试装置第29-30页
   ·样品修饰与表征第30-31页
   ·样品测试第31-33页
   ·本章小结第33-34页
5 总结第34-35页
参考文献第35-40页
致谢第40页

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