原位纳米压痕/划痕测试装置的设计与试验研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-24页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第12-13页 |
| ·课题背景 | 第12-13页 |
| ·目的和意义 | 第13页 |
| ·原位纳米压痕/划痕测试技术的发展概况 | 第13-14页 |
| ·原位纳米压痕/划痕测试技术的研究现状 | 第14-21页 |
| ·国外研究现状 | 第14-20页 |
| ·国内研究现状 | 第20-21页 |
| ·纳米压痕、划痕测试技术发展趋势 | 第21页 |
| ·本文主要研究内容 | 第21-24页 |
| 第2章 原位纳米压痕/划痕测试原理及技术 | 第24-40页 |
| ·精密驱动技术 | 第24-27页 |
| ·压电叠堆基本原理 | 第25-26页 |
| ·压电叠堆迟滞特性 | 第26-27页 |
| ·精密检测技术 | 第27-33页 |
| ·位移检测技术 | 第27-29页 |
| ·载荷检测技术 | 第29-30页 |
| ·应变片传感器 | 第30-33页 |
| ·柔性铰链 | 第33-38页 |
| ·柔性铰链 | 第33-34页 |
| ·柔性铰链的特点 | 第34页 |
| ·柔性铰链分类 | 第34页 |
| ·材料选择 | 第34-35页 |
| ·柔性铰链的力学特性 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第3章 原位纳米压痕/划痕测试装置的设计分析 | 第40-56页 |
| ·测试装置原理 | 第40-41页 |
| ·驱动结构的设计分析 | 第41-44页 |
| ·X/Y 微动台的设计分析 | 第44-49页 |
| ·X 方向柔性铰链的设计分析 | 第45-47页 |
| ·Y 方向柔性铰链的设计分析 | 第47-49页 |
| ·粗调整机构的设计 | 第49-50页 |
| ·原位纳米压痕/划痕装置模型 | 第50-51页 |
| ·整机特点及分析 | 第51-55页 |
| ·特点 | 第51页 |
| ·模态分析 | 第51-53页 |
| ·整机谐响应分析 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第4章 原位纳米压痕/划痕测试装置性能试验研究 | 第56-76页 |
| ·测试装置样机与工作原理 | 第56-57页 |
| ·性能测试的试验系统 | 第57-59页 |
| ·测试方案 | 第59页 |
| ·测试装置的性能分析 | 第59-70页 |
| ·传感器的标定 | 第59-65页 |
| ·应变片传感器的影响因素 | 第65-69页 |
| ·零点接触探测 | 第69页 |
| ·机架柔度的测量 | 第69-70页 |
| ·利用测试系统进行的试验 | 第70-74页 |
| ·试验步骤 | 第70-71页 |
| ·ITO 导电玻璃试样的重复性试验 | 第71-72页 |
| ·对不同试样的测试 | 第72-74页 |
| ·误差分析与改进措施 | 第74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第5章 总结和展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 作者简介及攻读硕士学位取得的科研成果 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
