| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| ·类金刚石薄膜简介 | 第10页 |
| ·类金刚石结构 | 第10-11页 |
| ·类金刚石薄膜的分类 | 第11-13页 |
| ·类金刚石薄膜的成膜机理 | 第13-16页 |
| ·等离子体简介 | 第13-14页 |
| ·碳氢气体的解离和激发 | 第14-15页 |
| ·含氢类金刚石薄膜的生长机理 | 第15-16页 |
| ·类金刚石薄膜的应用 | 第16-18页 |
| ·制备工艺 | 第18-21页 |
| ·物理气相沉积 | 第18-19页 |
| ·化学气相沉积 | 第19-21页 |
| ·研究现状 | 第21页 |
| ·选题背景 | 第21-24页 |
| 第二章 实验内容 | 第24-28页 |
| ·研究内容 | 第24页 |
| ·测试方法 | 第24-25页 |
| ·膜厚 | 第24页 |
| ·折射率和消光系数 | 第24-25页 |
| ·透过率 | 第25页 |
| ·拉曼光谱测试 | 第25页 |
| ·摩擦磨损测试 | 第25页 |
| ·粗糙度和表面形貌测试 | 第25页 |
| ·甲烷等离子体环境监控 | 第25页 |
| ·实验方案 | 第25-28页 |
| ·离子束沉积 | 第25-26页 |
| ·离子束辅助沉积 | 第26-27页 |
| ·射频等离子体增强化学气相沉积 | 第27-28页 |
| 第三章 IBD、IBAD、RF-PECVD 实验结果对比分析 | 第28-36页 |
| ·实验流程 | 第28页 |
| ·拉曼光谱分析 | 第28-30页 |
| ·光学性能 | 第30-31页 |
| ·力学性能 | 第31-33页 |
| ·实验操作优缺点对比 | 第33页 |
| ·本章总结 | 第33-36页 |
| 第四章 PECVD 制备 DLC 膜分析 | 第36-56页 |
| ·实验方案 | 第36-37页 |
| ·甲烷气压 RGA 分析 | 第37-38页 |
| ·射频功率对 DLC 膜性能的影响 | 第38-44页 |
| ·拉曼光谱分析 | 第39-40页 |
| ·光学性能分析 | 第40-41页 |
| ·表面形貌分析 | 第41-43页 |
| ·摩擦磨损分析 | 第43-44页 |
| ·甲烷气压对 DLC 膜性能的影响 | 第44-50页 |
| ·拉曼光谱分析 | 第46-47页 |
| ·光学性能分析 | 第47-48页 |
| ·表面形貌分析 | 第48-49页 |
| ·摩擦磨损分析 | 第49-50页 |
| ·甲烷流量对 DLC 膜性能的影响 | 第50-53页 |
| ·拉曼光谱分析 | 第51页 |
| ·光学性能 | 第51-52页 |
| ·摩擦磨损分析 | 第52-53页 |
| ·本章总结 | 第53-56页 |
| 第五章 应用研究 | 第56-60页 |
| ·光学透过率 | 第56-57页 |
| ·摩擦磨损测试 | 第57-58页 |
| ·划痕测试 | 第58-60页 |
| 第六章 结论 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 在读期间发表的论文 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70页 |