| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·非平衡等离子体概述 | 第10-11页 |
| ·大气压介质阻挡放电体系 | 第11-15页 |
| ·介质阻挡放电原理 | 第12-13页 |
| ·介质阻挡放电装置特性 | 第13-14页 |
| ·大气压介质阻挡放电体系的尺度效应问题 | 第14-15页 |
| ·介质阻挡放电装置激励电源 | 第15-16页 |
| ·介质阻挡放电电源发展现状 | 第15-16页 |
| ·介质阻挡放电电源设计要点 | 第16页 |
| ·本文研究内容 | 第16-17页 |
| ·本文技术路线 | 第17-18页 |
| 第2章 大气压非平衡等离子体反应器激励电源控制组件设计 | 第18-32页 |
| ·介质阻挡放电装置负载特性 | 第18-19页 |
| ·高频高压逆变电源设计思路 | 第19-31页 |
| ·介质阻挡放电用高频高压逆变电源的基本结构 | 第19-20页 |
| ·介质阻挡放电用高频高压逆变电源主电路 | 第20-25页 |
| ·介质阻挡放电用高频高压逆变电源控制电路 | 第25-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 高频高压变压器设计与方法优化 | 第32-43页 |
| ·高频高压变压器参数分析 | 第32-33页 |
| ·高频高压变压器磁芯 | 第33-35页 |
| ·变压器一次线圈与二次线圈线径的选取 | 第35-36页 |
| ·高频高压变压器设计优化 | 第36-40页 |
| ·高频高压变压器性能测试 | 第40-41页 |
| ·高频高压变压器灌封工艺 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 非平衡等离子体源分区激励模式研究 | 第43-58页 |
| ·解决尺度效应问题的方法 | 第43-44页 |
| ·单模块等离子体源与电源匹配问题研究 | 第44-49页 |
| ·实验装置与测试方法 | 第44-45页 |
| ·电源频率对放电功率的作用 | 第45-47页 |
| ·等离子体源与变压器谐振特性分析 | 第47-48页 |
| ·单模块等离子体源的工作性能 | 第48-49页 |
| ·分区激励系统设计 | 第49-50页 |
| ·分区激励系统的工作性能 | 第50-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 结论与展望 | 第58-59页 |
| ·结论 | 第58页 |
| ·展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 攻读学位期间公开发表论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |