MEMS加速度计与读出电路的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| ·研究背景及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究动态 | 第10-12页 |
| ·国内研究动态 | 第10页 |
| ·国外研究动态 | 第10-12页 |
| ·主要研究内容和论文结构 | 第12-14页 |
| 第二章 MEMS加速度计的理论基础 | 第14-21页 |
| ·MEMS速度计的基本原理 | 第14-15页 |
| ·MEMS加速度计传感器的分类 | 第15-16页 |
| ·MEMS加速度计加工工艺 | 第16-18页 |
| ·体硅工艺 | 第16-17页 |
| ·表面硅工艺 | 第17页 |
| ·SOI工艺 | 第17-18页 |
| ·MEMS加速度计的工作模式 | 第18-20页 |
| ·开环方式 | 第18-19页 |
| ·闭环方式 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 MEMS电容式加速度计结构与读出电路分析 | 第21-34页 |
| ·MEMS电容式加速度计的基本原理 | 第21-23页 |
| ·系统阻尼系数及机械噪声 | 第23-25页 |
| ·气体阻尼 | 第23-25页 |
| ·机械噪声 | 第25页 |
| ·弹性梁的刚度系数 | 第25-26页 |
| ·MEMS电容式加速度计读出电路 | 第26-33页 |
| ·微电容检测方法 | 第27-30页 |
| ·MEMS加速度计读出电路的总体分析 | 第30-32页 |
| ·读出电路的噪声分析 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 MEMS加速度计的机电一体化建模与仿真 | 第34-59页 |
| ·MEMS加速度计传感结构单元的设计 | 第34-44页 |
| ·检测电容的计算 | 第35-38页 |
| ·力学方程分析 | 第38-42页 |
| ·Simulink机械结构仿真 | 第42-44页 |
| ·读出电路的系统建模 | 第44-45页 |
| ·MEMS加速度计Simulink系统仿真 | 第45-48页 |
| ·CoventorWare机电一体化仿真 | 第48-58页 |
| ·CoventorWare软件环境 | 第48-51页 |
| ·机电一体化模型的建立和仿真 | 第51-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 MEMS加速度计的实现及测试 | 第59-67页 |
| ·MEMS加速度计的实现 | 第59-61页 |
| ·MEMS加速度计的测试 | 第61-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 结论与展望 | 第67-70页 |
| ·结论 | 第67-68页 |
| ·研究展望 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 攻硕期间获得的研究成果 | 第74页 |
