| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 概论 | 第9-16页 |
| ·概况 | 第9-10页 |
| ·VO_2 薄膜相变特性的应用 | 第10-12页 |
| ·VO_2 薄膜的制备方法 | 第12-14页 |
| ·本课题研究内容及意义 | 第14-15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 2 VO_2 相变理论及膜系设计 | 第16-25页 |
| ·VO_2 薄膜的晶体结构变化 | 第16-17页 |
| ·相变机理的初步分析 | 第17-19页 |
| ·膜系设计软件仿真 | 第19-21页 |
| ·多层膜系的设计及其优化 | 第21-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 VO_2 相变薄膜的制备工艺研究 | 第25-35页 |
| ·反应溅射法制备VO_2 薄膜 | 第25-27页 |
| ·磁控溅射法制备VO_2 薄膜 | 第27-29页 |
| ·真空退火工艺 | 第29-30页 |
| ·离子束溅射镀膜的最佳技术参量研究 | 第30-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 4 VO_2 薄膜特性测试及对比实验研究 | 第35-55页 |
| ·不同基底上VO_2 薄膜电阻温度特性的测试与对比实验 | 第35-36页 |
| ·不同基底上VO_2 薄膜透过率的光功率变化测试与对比实验 | 第36-42页 |
| ·AFM 分析测试 | 第42-48页 |
| ·VO_2 薄膜开光关时间测试实验研究 | 第48-50页 |
| ·XRD 分析测试 | 第50-53页 |
| ·大气环境下VO_2 薄膜的相变稳定性 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 5 VO_2 薄膜应用研究 | 第55-61页 |
| ·VO_2 薄膜的智能窗应用 | 第55-58页 |
| ·VO_2 薄膜的激光防护应用 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 6 全文总结 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第68页 |