闭锁电热双稳态微开关研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-24页 |
| ·MEMS简介 | 第12-15页 |
| ·MEMS的主要加工技术 | 第12-14页 |
| ·MEMS的应用和发展前景 | 第14-15页 |
| ·微继电器/开关的研究现状 | 第15-22页 |
| ·静电驱动式微继电器 | 第16-17页 |
| ·电磁驱动式微继电器 | 第17-18页 |
| ·电热驱动式微继电器 | 第18-22页 |
| ·本课题研究的主要意义和内容 | 第22-24页 |
| ·研究意义 | 第22-23页 |
| ·研究内容 | 第23-24页 |
| 第二章 电热微开关结构设计与分析 | 第24-37页 |
| ·电热微开关整体设计和分析 | 第24-25页 |
| ·电热微开关的整体结构 | 第24页 |
| ·电热微开关的工作原理 | 第24-25页 |
| ·双层膜电热微驱动器的设计 | 第25-33页 |
| ·双层膜的材料选择 | 第26-28页 |
| ·双层膜电热微驱动器的力学分析 | 第28-29页 |
| ·双层膜电热微驱动器的电热分析 | 第29-31页 |
| ·双层膜电热微驱动器的有限元仿真分析 | 第31-33页 |
| ·闭锁机构的简化机械模型 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 电热微开关制备工艺 | 第37-67页 |
| ·MEMS基础工艺 | 第37-43页 |
| ·光刻 | 第37-39页 |
| ·溅射 | 第39页 |
| ·电镀 | 第39-40页 |
| ·刻蚀 | 第40-43页 |
| ·锌牺牲层工艺的研究 | 第43-56页 |
| ·三种镀锌液配比和反应条件 | 第44页 |
| ·表面形貌 | 第44-45页 |
| ·内应力 | 第45-46页 |
| ·分散能力 | 第46-48页 |
| ·微观分散能力 | 第48-54页 |
| ·锌牺牲层的叠层腐蚀试验 | 第54-56页 |
| ·聚合物电泳沉积及其图形化的研究 | 第56-62页 |
| ·电泳沉积的基本原理 | 第56-57页 |
| ·电泳漆的沉积工艺参数 | 第57页 |
| ·电泳漆的图形化 | 第57-59页 |
| ·电泳漆-金属镍的界面 | 第59-60页 |
| ·电泳漆-金属镍的结合强度 | 第60-62页 |
| ·集成式电热微开关制备工艺 | 第62-66页 |
| ·硅基器件制备工艺 | 第62-63页 |
| ·聚合物基器件制备工艺 | 第63-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第四章 电热微开关的性能测试 | 第67-77页 |
| ·电热微开关的静态观察 | 第67-71页 |
| ·聚合物基电热微开关的静态观察 | 第67-69页 |
| ·硅基电热微开关的静态观察 | 第69-71页 |
| ·电热微开关的动态测试 | 第71-73页 |
| ·电热微开关的机械性能测试 | 第73-75页 |
| ·电热微开关双稳态性能的观察 | 第75页 |
| ·本章小结 | 第75-77页 |
| 第五章 总结与展望 | 第77-79页 |
| ·主要研究内容和结论 | 第77页 |
| ·主要创新点 | 第77-78页 |
| ·展望与下一步研究设想 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文和专利 | 第82-83页 |
| 附件 | 第83页 |
