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nc-Si:(Al2O3+SiO2)复合薄膜和SnS薄膜的制备及其特性研究

摘要第1-4页
Abstract第4-8页
第1章 绪论第8-18页
   ·热电材料的发展现状第8-12页
     ·热电效应及其应用第8-10页
     ·提高热电转换效率的途径第10-11页
     ·热电材料的发展现状第11-12页
   ·光伏材料的发展现状第12-15页
     ·光生伏特效应及其应用第12-13页
     ·提高光电转换效率的途径第13-14页
     ·光伏材料的发展现状第14页
     ·SnS薄膜的研究进展第14-15页
   ·本论文的研究内容及研究意义第15-18页
第2章 薄膜材料的常规制备方法及分析第18-30页
   ·薄膜材料的常规制备方法第18-22页
     ·真空热蒸发法第18-19页
     ·磁控溅射法第19-20页
     ·分子束外延法(molecular beam epitaxy简称MBE)第20-21页
     ·化学气相沉积法(CVD)第21-22页
     ·电化学法第22页
   ·薄膜材料的性能分析第22-28页
     ·薄膜材料的结构特性分析第23-28页
     ·薄膜材料的光学特性分析第28页
   ·本章小结第28-30页
第3章 nc-Si:(Al_2O_3+SiO_2)复合薄膜的制备及其热电特性的研究第30-44页
   ·nc-Si:(Al_2O_3+SiO_2)复合薄膜的制备第30-32页
     ·实验装置第30页
     ·衬底的清洗及热蒸发源的处理第30-31页
     ·薄膜的沉积及退火第31-32页
   ·nc-Si:(Al_2O_3+SiO_2)复合薄膜的结构特性分析第32-38页
     ·XRD测试结果及分析第33-34页
     ·Raman结果及分析第34-36页
     ·SEM结果及分析第36-37页
     ·TEM测试结果及分析第37页
     ·光致发光(PL)谱分析第37-38页
   ·nc-Si:(Al_2O_3+SiO_2)复合薄膜的热电特性测试及分析第38-42页
     ·测试原理第38-40页
     ·热电特性测试仪结构第40页
     ·nc-Si:(Al_2O_3+SiO_2)复合薄膜的热电特性测试结果及分析第40-42页
   ·本章小结第42-44页
第4章 SnS薄膜的制备及其特性研究第44-56页
   ·SnS薄膜的制备第44-47页
     ·实验装置第44页
     ·衬底的清洗及蒸发源的准备第44-46页
     ·薄膜的沉积及退火第46-47页
   ·SnS薄膜的结构特性分析第47-50页
     ·XRD测试结果及分析第47-48页
     ·AFM测试结果及分析第48-49页
     ·SEM和能谱仪(EDS)测试结果与分析第49-50页
   ·SnS薄膜的光学特性第50-54页
     ·UV-VIS-NIS测试结果及分析第50-52页
     ·PL谱分析第52-54页
   ·本章小结第54-56页
结论第56-58页
参考文献第58-64页
致谢第64-66页
攻读学位期间的研究成果第66页

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