模拟退火单纯形联合算法在椭偏数据处理中的应用
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 前言 | 第7-18页 |
| ·椭圆偏振测量术的优点及应用 | 第7-8页 |
| ·椭圆偏振测量术的发展 | 第8-11页 |
| ·椭偏数据处理的发展 | 第11-16页 |
| ·研究意义及本论文的主要内容 | 第16-18页 |
| 第二章 椭圆偏振测量术基本原理 | 第18-26页 |
| ·单层膜数据处理模型 | 第18-22页 |
| ·双层膜的处理及等效模型 | 第22-26页 |
| 第三章 模拟退火单纯形联合算法 | 第26-34页 |
| ·模拟退火算法 | 第26-28页 |
| ·单纯形法 | 第28-30页 |
| ·联合算法的实现 | 第30-34页 |
| 第四章 联合算法的参数控制和误差分析 | 第34-43页 |
| ·联合算法处理椭偏测量数据的参数控制 | 第34-40页 |
| ·误差因子的参与与分析 | 第40-43页 |
| 第五章 消光式变角度立式椭偏仪 | 第43-50页 |
| ·消光式椭圆偏振测量原理 | 第43-44页 |
| ·立式椭偏仪组成与安装调试 | 第44-50页 |
| 第六章 吸收膜及双层透明膜样品的反演 | 第50-59页 |
| ·数值模拟运算 | 第51-57页 |
| ·实际样品的测量 | 第57-59页 |
| 第七章 单层透明膜的数值处理 | 第59-69页 |
| ·迭代法的分析及问题 | 第59-62页 |
| ·迭代法的改进 | 第62-65页 |
| ·联合算法在单层透明膜中的应用 | 第65-69页 |
| 第八章 总结与展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 硕士期间发表的论文和其它成果 | 第78-79页 |
