| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 英文摘要 | 第6-12页 |
| 1 绪论 | 第12-24页 |
| ·MEMS技术的概念及特点 | 第12-13页 |
| ·基于MEMS面向显示应用的光调制器的国内外研究现状 | 第13-20页 |
| ·数字微镜器件(DMD)和数字光处理(DLP)显示技术 | 第14-15页 |
| ·硅基液晶(LCOS)显示技术 | 第15-16页 |
| ·薄膜微镜阵列(TMA)显示技术 | 第16-17页 |
| ·光栅光阀(GLV)显示技术 | 第17-19页 |
| ·现有技术存在的问题 | 第19-20页 |
| ·课题的研究目的、意义及主要研究内容 | 第20-21页 |
| ·课题的目的及意义 | 第20-21页 |
| ·课题的研究内容 | 第21页 |
| ·本章小结 | 第21-24页 |
| 2 反射镜平动式光栅光调制器的电力学分析及仿真 | 第24-42页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·RM-GLM的结构和工作原理 | 第24-26页 |
| ·RM-GLM的电力学原理分析 | 第26-34页 |
| ·简化模型及等效弹性系数 | 第27-30页 |
| ·静力学分析及工作电压 | 第30-31页 |
| ·固有频率 | 第31-32页 |
| ·动力学分析及响应速度 | 第32-34页 |
| ·RM-GLM的机电仿真分析 | 第34-40页 |
| ·CoventorWare简介 | 第34-35页 |
| ·RM-GLM的仿真模型的建立及选取 | 第35-36页 |
| ·支撑梁隐藏模型的仿真分析 | 第36-38页 |
| ·蟹型支撑梁的模型的仿真分析 | 第38-40页 |
| ·两种模型的对比 | 第40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 3 光栅平动式光调制器的理论分析及仿真 | 第42-58页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·GM-GLM的结构和工作原理 | 第42-43页 |
| ·GM-GLM的电力学原理分析 | 第43-50页 |
| ·简化模型及弹性系数 | 第43-47页 |
| ·静力学分析及工作电压 | 第47-48页 |
| ·固有频率 | 第48-49页 |
| ·动力学分析及响应速度 | 第49-50页 |
| ·GM-GLM的机电仿真分析 | 第50-57页 |
| ·3D模型的有限元分析 | 第50-52页 |
| ·有效衍射面积及其平整度分析和优化 | 第52-55页 |
| ·支撑梁减薄型GLM的机电仿真分析 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 4 光栅光调制器的控制系统总体设计 | 第58-66页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·光栅光调制器的显示控制系统的总体设计 | 第58-62页 |
| ·GLM的控制系统的设计方案 | 第59-61页 |
| ·显示控制系统的基本原理及各功能模块 | 第61-62页 |
| ·光栅光调制器的灰度显示原理 | 第62-64页 |
| ·数据格式的转化过程 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 5 基于 FPGA的显示控制系统的电路设计及实现 | 第66-82页 |
| ·引言 | 第66页 |
| ·SOPC技术及 Quartus II概述 | 第66-68页 |
| ·脉宽调制电路的实现 | 第68-70页 |
| ·脉宽调制电路的实现原理 | 第68页 |
| ·脉宽调制电路的设计及仿真 | 第68-70页 |
| ·数据格式转换电路的实现 | 第70-75页 |
| ·数据格式转换电路的实现原理 | 第70-72页 |
| ·数据格式转换电路的设计结果 | 第72-73页 |
| ·数据格式转化电路的仿真 | 第73-75页 |
| ·外围硬件电路的实现 | 第75-80页 |
| ·LED显示模块的选择 | 第76-77页 |
| ·驱动系统的硬件设计 | 第77-80页 |
| ·本章小结 | 第80-82页 |
| 6 光栅光调制器的实现及其控制系统的实验 | 第82-92页 |
| ·引言 | 第82页 |
| ·光栅光调制器的实现 | 第82-85页 |
| ·显示驱动控制系统的实验 | 第85-90页 |
| ·GLM数据驱动电路的设计及实验 | 第85-87页 |
| ·脉宽调制电路实验 | 第87-88页 |
| ·显示控制系统的LED验证实验 | 第88-90页 |
| ·本章小结 | 第90-92页 |
| 7 结论与展望 | 第92-94页 |
| 致谢 | 第94-96页 |
| 参考文献 | 第96-100页 |
| 附录 | 第100-102页 |
| 独创性声明 | 第102页 |
| 学位论文版权使用授权书 | 第102页 |