光学干涉法测量表面粗糙度的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| ·表面粗糙度测量的重要性 | 第9页 |
| ·表面粗糙度测量的基本概念 | 第9-13页 |
| ·表面微观几何形状的特征 | 第9页 |
| ·评定基准-基准线 | 第9-10页 |
| ·取样长度和评定长度 | 第10-11页 |
| ·评定表面粗糙度的参数 | 第11页 |
| ·表面粗糙度测量方法 | 第11-13页 |
| ·选题的意义 | 第13页 |
| ·本文的主要工作及内容安排 | 第13-15页 |
| 第2章 传统的表面粗糙度测量方法-触针法 | 第15-19页 |
| ·触针法的测量原理和特点 | 第15-16页 |
| ·触针和测量力 | 第15-16页 |
| ·测量基准线 | 第16页 |
| ·触针式测量仪器(轮廓仪)的主要类型 | 第16-17页 |
| ·粗糙度参数的测量及处理方法 | 第17-18页 |
| ·轮廓算术平均偏差的测量 | 第17-18页 |
| ·轮廓最大高度和微观不平度十点高度的测量 | 第18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第3章 测量表面粗糙度的几种光学方法 | 第19-39页 |
| ·显微干涉法测量表面粗糙度 | 第19-21页 |
| ·显微干涉法的测量原理和类型 | 第19页 |
| ·干涉显微镜的使用和调整 | 第19-20页 |
| ·测量粗糙度的方法 | 第20-21页 |
| ·光切法测量表面粗糙度 | 第21-23页 |
| ·光切法测量原理 | 第21-22页 |
| ·仪器放大倍率的确定 | 第22-23页 |
| ·光散射法测量表面粗糙度 | 第23-31页 |
| ·光干涉法测量表面粗糙度 | 第31-35页 |
| ·光学触针法(HIPOSS)测量表面粗糙度 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 偏振干涉方法测量表面粗糙度的理论研究 | 第39-54页 |
| ·研究偏振系统的数学工具一琼斯矩阵 | 第39-45页 |
| ·偏振光的矩阵表示 | 第39-41页 |
| ·常用光学元器件的琼斯矩阵 | 第41-44页 |
| ·光学系统的矩阵表示 | 第44-45页 |
| ·琼斯矩阵的本征矢量 | 第45页 |
| ·偏振干涉原理测量物体表面粗糙度的测量光路与方法 | 第45-47页 |
| ·偏振干涉方法测量物体表面粗糙度的原理分析 | 第47-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 偏振干涉法测量表面粗糙度的实验研究 | 第54-65页 |
| ·实验准备 | 第54-61页 |
| ·偏振片偏振方向的确定 | 第54-55页 |
| ·四分之一波片快轴的确定 | 第55-60页 |
| ·二分之一波片快轴方向的确定 | 第60页 |
| ·透镜焦距的测量及其光心的确定 | 第60-61页 |
| ·实验研究 | 第61-64页 |
| ·测量光路系统相位差 | 第61-62页 |
| ·测量物体表面粗糙度的实验数据及处理 | 第62-64页 |
| ·讨论 | 第64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
