| 摘 要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·薄膜材料研究的意义 | 第9页 |
| ·薄膜材料研究的国内外现状 | 第9-12页 |
| ·研究背景 | 第10-12页 |
| ·研究现状 | 第12页 |
| ·本文的研究工作 | 第12-15页 |
| 第二章 薄膜材料微观生长的研究方法 | 第15-23页 |
| ·计算物理学概述 | 第15-16页 |
| ·计算机模拟方法分类描述 | 第16-22页 |
| ·蒙特卡罗(Monte Carlo simulation, MC)方法 | 第16-18页 |
| ·分子动力学(Molecular Dynamics simulation, MD)方法 | 第18-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 薄膜过程及模拟方法 | 第23-43页 |
| ·薄膜生长过程 | 第23-32页 |
| ·沉积粒子的吸附过程 | 第23-26页 |
| ·粒子的脱附过程 | 第26-27页 |
| ·粒子的迁移驰豫过程 | 第27-32页 |
| ·薄膜生长模型 | 第32-37页 |
| ·薄膜的生长模式 | 第32-36页 |
| ·薄膜生长模型的发展 | 第36-37页 |
| ·模拟方法在薄膜生长过程中的应用 | 第37-41页 |
| ·蒙特卡罗方法（MC）方法在薄膜生长初期的应用 | 第37-39页 |
| ·分子动力学（MD）方法在薄膜生长初期的应用 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 模型建立和模拟的实现 | 第43-51页 |
| ·模拟方法的选择 | 第43-44页 |
| ·模型的建立 | 第44-46页 |
| ·计算模型 | 第44页 |
| ·晶格模型 | 第44-45页 |
| ·势能函数的选取 | 第45-46页 |
| ·模拟仿真的实现 | 第46-49页 |
| ·模拟过程的改进 | 第47-48页 |
| ·MC 方法的程序框图 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第五章 数值模拟结果和讨论 | 第51-61页 |
| ·模拟生长的初期过程 | 第51页 |
| ·基体温度对薄膜生长的影响 | 第51-55页 |
| ·薄膜生长随时间的变化规律 | 第55-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 结束语 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 作者在读期间的研究成果 | 第71页 |