铌酸锂相位调制器关键技术的研究

第一章 绪论	第1-13页
·课题背景	第8-10页
·铌酸锂电光调制器研究进展	第10-12页
·本论文的任务	第12-13页
第二章 电光相位调制器的基础理论	第13-27页
·铌酸锂晶体特性	第13-15页
·铌酸锂的晶体结构	第13-14页
·铌酸锂晶体的基本热学性质	第14-15页
·电光相位调制的基本原理	第15-18页
·单模光纤和光波导的耦合	第18-23页
·单模光纤的模场分布	第18-20页
·单模条形波导的传播模式	第20-23页
·光纤和波导的耦合	第23页
·器件可靠性理论	第23-27页
·芯片剪切强度的可靠性	第24页
·气密性的可靠性	第24-25页
·内部水汽含量可靠性	第25页
·ESD（静电放电）的可靠性	第25-27页
第三章 铌酸锂相位调制器的设计与制作	第27-60页
·质子交换法	第27-37页
·质子交换法概述	第27-28页
·质子交换基本理论	第28-31页
·质子交换LiNbO_3晶体波导的结构	第31-33页
·退火工艺对铌酸锂波导性能的影响	第33-37页
·铌酸锂条形波导的制作	第37-44页
·单模铌酸锂条形波导的设计	第37-39页
·质子交换铌酸锂条形波导的制作	第39-44页
·铌酸锂V 型槽的制作工艺	第44-54页
·铌酸锂晶体畴反转的实现方法	第44-45页
·用质子交换法实现铌酸锂晶体的畴反转	第45-50页
·铌酸锂V 型槽的制作	第50-54页
·光纤和波导的耦合封装	第54-60页
·光纤和波导耦合	第54-56页
·铌酸锂相位调制器的封装	第56-60页
第四章 器件性能测试	第60-65页
·光波导损耗的测量	第60-62页
·光波导的损耗	第60-61页
·光波导损耗的测量	第61-62页
·器件部分性能测试	第62-64页
·室温下器件的插入损耗	第62-63页
·高、低温下器件的稳定性	第63-64页
·小结	第64-65页
第五章 器件可靠性分析	第65-67页
·器件失效机理分析	第65页
·提高器件可靠性的措施	第65-67页
第六章 结论	第67-68页
参考文献	第68-72页
作者简历及硕士在读期间发表的论文	第72-73页
致谢	第73-74页
附录	第74页