铸造多晶硅中原生杂质及缺陷的研究
| 第一章 前言 | 第1-11页 |
| 第二章 文献综述 | 第11-34页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·世界太阳能电池产业及多晶硅材料的发展现状 | 第11-14页 |
| ·太阳能电池产业的发展对多晶硅需求十分巨大 | 第12-13页 |
| ·我国及其他国家主要多晶硅生长厂的生产规模及状况 | 第13-14页 |
| ·铸造多晶硅材料的特点及生长工艺 | 第14-21页 |
| ·铸造多晶硅中的主要杂质 | 第15-16页 |
| ·铸造多晶硅中的缺陷 | 第16-18页 |
| ·铸造多晶硅的生产工艺 | 第18-21页 |
| ·杂质在铸造多晶硅中的分布 | 第21-28页 |
| ·杂质在硅中的分凝 | 第21-25页 |
| ·杂质在铸造多晶硅中的分布研究 | 第25-28页 |
| ·硅片的少子寿命及其影响因素 | 第28-33页 |
| ·载流子复合机制 | 第28-29页 |
| ·有效寿命τ_(eff) | 第29-30页 |
| ·影响材料少子寿命的主要因素及改进工艺 | 第30-33页 |
| ·评价 | 第33-34页 |
| 第三章 实验方案及设备 | 第34-40页 |
| ·实验方案 | 第34-35页 |
| ·实验设备 | 第35-40页 |
| ·μ-PCD的工作原理及其应用 | 第35-38页 |
| ·SIRM的原理及其应用 | 第38-39页 |
| ·傅立叶变换红外光谱仪(FTIR) | 第39-40页 |
| 第四章 氧在铸造多晶硅中的传递及分布规律 | 第40-49页 |
| ·前言 | 第40页 |
| ·铸造多晶硅生长过程中氧的传递过程 | 第40-44页 |
| ·铸造多晶硅中氧的来源 | 第41-42页 |
| ·氧从熔体向晶体中的传递 | 第42页 |
| ·铸造多晶硅中氧的挥发 | 第42-44页 |
| ·氧在铸造多晶硅中的实际分布曲线及其模拟 | 第44-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 铸造多晶硅中杂质与少子寿命的研究 | 第49-59页 |
| ·前言 | 第49页 |
| ·铸造多晶硅中的氧、碳浓度分布规律 | 第49-52页 |
| ·实验样品及过程 | 第49-50页 |
| ·实验结果与讨论 | 第50-52页 |
| ·铸造多晶硅中铁浓度分布规律 | 第52-53页 |
| ·实验样品及过程 | 第52页 |
| ·实验结果与讨论 | 第52-53页 |
| ·铸造多晶硅中少子寿命的分布特征及其影响因素 | 第53-57页 |
| ·实验样品及过程 | 第53-54页 |
| ·实验结果与讨论 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第六章 铸造多晶硅中的缺陷与磷扩散吸杂 | 第59-69页 |
| ·前言 | 第59页 |
| ·铸造多晶硅中的缺陷研究 | 第59-66页 |
| ·实验样品及过程 | 第59-60页 |
| ·实验结果与讨论 | 第60-66页 |
| ·磷扩散吸杂对少子寿命的影响 | 第66-68页 |
| ·实验样品及过程 | 第66-67页 |
| ·实验结果与讨论 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 总结 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 附录 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
