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TbDyFe薄膜的磁致伸缩性能及其与弹性、压电衬底复合效应研究

章节目录第1-8页
图目录第8-11页
表目录第11-12页
摘要第12-14页
ABSTRACT第14-16页
第一章 绪论第16-32页
 1.1 磁致伸缩材料的研究进展第16-25页
  1.1.1 磁致伸缩效应及磁弹性效应第16-17页
  1.1.2 磁致伸缩材料及超磁致伸缩材料第17-19页
  1.1.3 超磁致伸缩薄膜第19-24页
  1.1.4 磁致伸缩薄膜/弹性衬底的变形理论第24-25页
 1.2 磁电材料的研究进展第25-30页
  1.2.1 磁电效应及表征参数第25页
  1.2.2 磁电材料第25-26页
  1.2.3 磁电复合材料第26-28页
  1.2.4 磁电层状复合材料第28-29页
  1.2.5 磁电复合材料的应用第29-30页
 1.3 论文的选题依据和研究内容第30-32页
第二章 实验研究与数值计算方法第32-53页
 2.1 实验工艺设备第32-33页
 2.2 实验材料第33-34页
  2.2.1 磁控溅射靶材第33页
  2.2.2 衬底材料第33-34页
 2.3 样品的制备第34-36页
  2.3.1 超磁致伸缩薄膜的磁控溅射工艺第34-35页
  2.3.2 溅射工艺中偏置磁场的设计第35页
  2.3.3 层状磁电复合材料的制备第35-36页
  2.3.4 薄膜的热处理第36页
 2.4 薄膜磁致伸缩系数的测量第36-42页
  2.4.1 薄膜磁致伸缩系数的测定原理第36-38页
  2.4.2 电容位移测试仪的效验第38页
  2.4.3 样品自由端挠度与位移测量仪读数关系曲线的确定第38-41页
  2.4.4 弹性模量的修正第41页
  2.4.5 磁致伸缩系数曲线的计算第41-42页
 2.5 磁电电压系数的测量第42-46页
  2.5.1 磁电电压系数的测试方法第42-43页
  2.5.2 测试用放大电路的设计第43-44页
  2.5.3 感应电压的测量第44页
  2.5.4 测量电压的效验第44-45页
  2.5.5 磁电电压系数的计算第45-46页
 2.6 样品其它性能的测试方法第46-47页
  2.6.1 薄膜厚度的测量第46页
  2.6.2 薄膜成分与结构分析第46页
  2.6.3 薄膜形貌分析第46页
  2.6.4 薄膜磁性能测试第46-47页
 2.7 有限元分析方法第47-52页
  2.7.1 有限元位移法的基本方法和步骤第47-48页
  2.7.2 弹性力学的基本方程第48-50页
  2.7.3 磁致伸缩/弹性复合板的有限元分析方法第50-51页
  2.7.4 磁致伸缩/压电层状复合材料的有限元分析方法第51-52页
 2.8 本章小结第52-53页
第三章 改善 ThDyFe薄膜磁致伸缩性能的工艺研究第53-82页
 3.1 影响ThDyFe薄膜磁致伸缩性能的因素第53-58页
  3.1.1 磁控溅射 TbDyFe薄膜的成分与结构第53-54页
  3.1.2 磁控溅射 TbDyFe薄膜的磁各向异性第54-57页
  3.1.3 改善 ThDyFe薄膜磁致伸缩性能的方法第57-58页
 3.2 真空热处理对 ThDyFe薄膜磁致伸缩效应的影响第58-61页
 3.3 磁场溅射对 TbDyFe薄膜磁致伸缩性能的影响第61-62页
 3.4 衬底光洁度对 ThDyFe薄膜磁致伸缩性能的影响第62-64页
 3.5 SmCo的复合对 TbDyFe薄膜磁致伸缩性能的影响第64-69页
  3.5.1 SmCo薄膜的磁性能第64-67页
  3.5.2 TbDyFe/SmCo复合薄膜的性能第67-69页
 3.6 ThDyFe与 Fe薄膜交互作用对磁致伸缩性能的影响第69-79页
  3.6.1 磁控溅射 Fe薄膜的性能第69-71页
  3.6.2 ThDyFe/Fe多层膜的结构与磁性能第71-74页
  3.6.3 ThDyFe/Fe多层膜的磁致伸缩性能第74-79页
 3.7 几种工艺下 ThDyFe薄膜的磁致伸缩性能第79-81页
 3.8 本章小节第81-82页
第四章 ThDyFe薄膜与弹性衬底复合后的弯曲变形行为第82-98页
 4.1 磁致伸缩/弹性双层板弯曲变形分析的理论基础第83-84页
  4.1.1 弹性薄板弯曲基本假设及几何方程第83-84页
  4.1.2 最小势能原理第84页
  4.1.3 磁致伸缩双层板弯曲变形的理论研究方法第84页
 4.2 磁致伸缩双层悬臂板自由端挠度表达式的理论推导第84-90页
  4.2.1 磁致伸缩/弹性双层悬臂板几何模型第84-85页
  4.2.2 磁致伸缩双层悬臂板的几何方程第85-86页
  4.2.3 磁致伸缩双层悬臂板的能量表达式第86-87页
  4.2.4 磁致伸缩双层悬臂板自由端挠度与磁致伸缩系数的关系第87-90页
 4.3 磁致伸缩双层悬臂板自由端挠度计算公式讨论第90-91页
  4.3.1 磁致伸缩效应对自由端挠度的影响第90-91页
  4.3.2 公式的适用性第91页
  4.3.3 理论计算公式与实验测试磁致伸缩系数的关系第91页
 4.4 ThDyFe/Si双层悬臂板弯曲变形的有限元分析及与实验对比第91-96页
  4.4.1 ThDyFe薄膜厚度对 ThDyFe/Si自由端挠度值的影响第92-93页
  4.4.2 有限元计算结果与实验测试结果的对比第93-94页
  4.4.3 ThDyFe薄膜的磁致伸缩系数对 TbDyFe/Si自由端挠度的影响第94-95页
  4.4.4 薄膜与衬底的厚度比和弹性模量比对 TbDyFe/Si自由端挠度的影响第95-96页
  4.4.5 长宽比对TbDyFe/Si自由端挠度的影响第96页
 4.5 本章小节第96-98页
第五章 TbDyFe薄膜与 PZT压电陶瓷衬底复合的磁电效应研究第98-115页
 5.1 磁控溅射 ThDyFe/PZT层状复合材料磁电效应的实验研究第98-100页
 5.2 TbDyFe/PZT层状复合材料磁电效应的有限元分析第100-108页
  5.2.1 ThDyFe/PZT磁电效应的有限元计算及与实验结果对比第100-103页
  5.2.2 ThDyFe薄膜的磁致伸缩性能对 ThDyFe/PZT磁电电压系数的影响第103-106页
  5.2.3 ThDyFe薄膜厚度变化对 ThDyFe/PZT磁电电压系数的影响第106-107页
  5.2.4 外磁场方向对 ThDyFe/PZT磁电电压系数的影响第107-108页
 5.3 粘接法制备的Ni/PZT层状复合材料的磁电效应第108-113页
  5.3.1 Ni/PZT层状复合材料板的磁电效应实验曲线第109-111页
  5.3.2 Ni/PZT磁电效应的有限元分析及与实验结果对比第111-113页
 5.4 ThDyFe/PZT与Ni/PZT磁电转化效应的对比第113-114页
 5.5 本章小节第114-115页
第六章 层状磁电复合材料磁电转换效应的理论研究第115-136页
 6.1 层状磁电复合材料的力学模型第115-117页
 6.2 层状磁电复合材料磁电电压系数α_((E)31)的理论推导第117-126页
  6.2.1 自由状态下对称层状磁电复合材料的磁电电压系数α_((E)31)第117-118页
  6.2.2 上下夹持的层状磁电复合材料的磁电电压系数α_((E)31)第118-120页
  6.2.3 双层磁电悬臂板磁电电压系数α_((E)31)理论推导第120-126页
 6.3 磁电层状复合材料的理论对比分析第126-129页
  6.3.1 与等效电路模型对比第126-127页
  6.3.2 理论计算值与实验测试值对比第127-129页
 6.4 层状磁电复合材料磁电转换效应的影响因素第129-134页
  6.4.1 组元材料性能常数的影响第129页
  6.4.2 层合厚度比对磁电电压系数的影响第129页
  6.4.3 界面耦合参数k和磁致伸缩相体积分数v对磁电电压系数的影响第129-132页
  6.4.4 外磁场方向对磁电电压系数的影响第132-133页
  6.4.5 力学约束条件对磁电电压系数的影响第133-134页
 6.5 本章小结第134-136页
第七章 结论第136-138页
致谢第138-139页
参考文献表第139-148页
攻读博士学位期间发表的学术论文第148页

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