| 引言 | 第1-10页 |
| 第一章 类金刚石膜概述 | 第10-20页 |
| 第一节 类金刚石膜的制备和性能 | 第11-16页 |
| ·类金刚石膜的制备方法 | 第11-14页 |
| ·类金刚石膜的性能 | 第14-16页 |
| 第二节 类金刚石膜的应用 | 第16-20页 |
| ·机械领域的应用 | 第16-17页 |
| ·声学领域的应用 | 第17页 |
| ·电磁学领域的应用 | 第17页 |
| ·光学领域的应用 | 第17-18页 |
| ·医学领域的应用 | 第18-20页 |
| 第二章 激光溅射制备类金刚石膜生长理论与实验设备 | 第20-42页 |
| 第一节 激光溅射制备类金刚石膜生长理论及文献综述 | 第20-30页 |
| ·PLD 基本原理及物理过程 | 第20-23页 |
| ·类金刚石的形成 | 第23-25页 |
| ·沉积参数对结构、性能的影响 | 第25-30页 |
| 第二节 激光溅射制备类金刚石膜实验设备及工艺 | 第30-35页 |
| ·沉积系统 | 第30-34页 |
| ·制备工艺 | 第34-35页 |
| 第三节 激光溅射类金刚石膜测试手段 | 第35-42页 |
| ·膜厚 | 第35页 |
| ·表面形貌 | 第35-36页 |
| ·膜的微结构 | 第36-38页 |
| ·光学性能 | 第38-40页 |
| ·力学性能 | 第40-42页 |
| 第三章 高功率高重复频率脉冲准分子激光溅射制备类金刚石膜研究 | 第42-69页 |
| 第一节 实验参数对DLC膜结构、性能的影响 | 第42-63页 |
| ·激光功率密度的影响 | 第42-51页 |
| ·激光器重复频率的影响 | 第51-56页 |
| ·同步脉冲放电(等离子体技术)的影响 | 第56-59页 |
| ·靶材的影响 | 第59-63页 |
| 第二节 最佳参数下类金刚石膜微结构、性能 | 第63-67页 |
| ·力学性能 | 第65页 |
| ·光学性能 | 第65-67页 |
| ·化学稳定性 | 第67页 |
| 第三节 小结 | 第67-69页 |
| 第四章 总结与展望 | 第69-72页 |
| 参考文献 | 第72-82页 |
| 摘要 | 第82-83页 |
| ABSTRACT | 第83-86页 |
| 致 谢 | 第86-87页 |
| 导师及作者简介 | 第87-88页 |
| 作者简介及硕士期间发表和提交的论文及著作 | 第88页 |