| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-4页 |
| 目录 | 第4-5页 |
| 文献综述 | 第5-18页 |
| ·高阻隔包装材料的发展历史及现状 | 第5-9页 |
| ·高阻隔薄膜包装材料的生产 | 第9-13页 |
| ·高阻隔包装材料发展趋向 | 第13-15页 |
| ·等离子体的基本概念 | 第15-17页 |
| ·结论与展望 | 第17页 |
| ·本课题的提出 | 第17-18页 |
| 第二章 非晶碳氢膜的制备 | 第18-35页 |
| ·DLC的制备方法 | 第18-20页 |
| ·RF-PECVD制备类金刚石碳膜的沉积机理 | 第20-24页 |
| ·影响类金刚石薄膜生长的主要因素 | 第24-25页 |
| ·本课题实验装置及步骤 | 第25-26页 |
| ·测试仪器及方法 | 第26-29页 |
| ·非晶碳氢膜的制备工艺 | 第29-35页 |
| 第三章 非晶碳氢膜的性能研究 | 第35-50页 |
| ·碳氢膜的表面形貌及内部结构 | 第35-42页 |
| ·镀膜参数对PET抗拉强度的影响 | 第42页 |
| ·镀膜参数对PET抗拉强度的影响 | 第42-45页 |
| ·镀膜参数对碳氢膜表面张力的影响 | 第45-47页 |
| ·镀碳氢膜PET对水蒸汽的阻隔性能 | 第47-50页 |
| 结论 | 第50-51页 |
| 硕士期间发表论文 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-54页 |