柔性衬底薄膜光伏电池相关材料制备及性能

摘要	第1-6页
Abstract	第6-11页
1 绪论	第11-26页
·课题研究背景和意义	第11-12页
·硅基薄膜太阳能电池的种类及研究现状	第12-17页
·非晶硅薄膜	第13-15页
·多晶硅薄膜	第15-16页
·微晶硅薄膜	第16-17页
·柔性薄膜太阳能电池的特点及研究现状	第17-19页
·柔性微晶硅薄膜电池存在的问题及解决方案	第19-24页
·微晶硅薄膜均匀性研究	第19-20页
·陷光结构——绒面背电极	第20-22页
·阻挡层的研究现状及存在问题	第22-23页
·透明氧化锌铝薄膜的研究	第23-24页
·本文的研究目的和主要内容	第24-26页
2 实验设备与实验方法	第26-40页
·衬底的选择和处理	第26-27页
·实验设备	第27-32页
·射频磁控溅射技术	第27-29页
·微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积系统	第29-32页
·薄膜的表征与分析方法	第32-40页
·薄膜厚度、表面形貌及成分的测定	第32-33页
·薄膜结构分析	第33-36页
·薄膜电学和光学性能测试	第36-40页
3 柔性衬底上绒面铝电极的制备及生长机理	第40-53页
·引言	第40页
·射频磁控溅射制备绒面铝电极研究	第40-48页
·薄膜制备	第40-41页
·沉积参数对薄膜沉积速率和形貌的影响	第41-44页
·沉积参数对薄膜电阻率的影响	第44-45页
·沉积参数对薄膜反射率的影响	第45-48页
·生长机理分析	第48-51页
·衬底对Al薄膜形核的影响	第48-50页
·沉积条件对Al薄膜生长的影响	第50-51页
·本章小结	第51-53页
4 柔性硅基太阳能电池扩散阻挡层研究	第53-67页
·引言	第53页
·阻挡层材料的筛选	第53-57页
·材料制备	第53-54页
·AlN、TiN、Ni及其合金薄膜的阻挡效果测试	第54-56页
·筛选结果小结	第56-57页
·Ni系阻挡层的结构、性能分析	第57-64页
·材料制备	第57页
·成分和结构分析	第57-58页
·阻挡层效果对比	第58-61页
·阻挡机理分析	第61-62页
·电性能分析	第62-64页
·分析和讨论	第64-65页
·本章小结	第65-67页
5 微晶硅薄膜的制备及生长模型	第67-80页
·引言	第67页
·ECR-PECVD 技术制备微晶硅薄膜	第67-72页
·微晶硅薄膜的制备	第67-68页
·薄膜的结构	第68-70页
·氢等离子体处理对微晶硅薄膜生长的影响	第70-72页
·分析与讨论	第72页
·两步生长法制备微晶硅薄膜	第72-79页
·实验过程	第72-73页
·籽晶层的研究	第73-75页
·两步法与常规生长的微晶硅薄膜对比	第75-77页
·氢等离子体处理的机理及两步生长法模型	第77-79页
·本章小结	第79-80页
6 透明氧化物薄膜的制备及结构研究	第80-101页
·引言	第80页
·ZnO:Al 薄膜的制备	第80-81页
·沉积参数对ZnO:Al薄膜结构和性能的影响	第81-93页
·沉积参数对薄膜结构和应力的影响	第81-86页
·沉积参数对薄膜光学性能的影响	第86-87页
·沉积参数对薄膜电学性能的影响	第87-89页
·薄膜结构对其性能影响规律的探讨	第89-93页
·薄膜结构变化的原因分析及理论计算	第93-100页
·结构变化的原因分析	第93-97页
·Al掺杂位置对ZnO 结构影响的理论计算	第97-100页
·本章小结	第100-101页
结论	第101-103页
创新点摘要	第103-104页
参考文献	第104-113页
攻读博士学位期间发表学术论文情况	第113-114页
致谢	第114-115页
作者简介	第115-116页