大气压辉光放电模式及均匀性数值模拟研究
摘要 | 第1-6页 |
Abstract | 第6-11页 |
1. 研究背景 | 第11-24页 |
·大气压介质阻挡放电概述 | 第11-17页 |
·大气压射频辉光放电 | 第17-19页 |
·大气压短脉冲放电 | 第19-21页 |
·脉冲调制射频放电 | 第21-23页 |
·论文内容安排 | 第23-24页 |
2. 大气压介质阻挡放电模式及转化 | 第24-38页 |
·引言 | 第24页 |
·自洽的流体模型 | 第24-31页 |
·不同放电模式中电子温度及电子能量分布函数 | 第31-35页 |
·不同放电模式之间的转化 | 第35-36页 |
·小结 | 第36-38页 |
3. 电源频率对放电模式的影响 | 第38-48页 |
·引言 | 第38页 |
·理论模型 | 第38-40页 |
·外电源频率对放电模式的影响 | 第40-47页 |
·小结 | 第47-48页 |
4. 小幅值射频电源对放电均匀性的改进 | 第48-60页 |
·引言 | 第48页 |
·理论模型 | 第48页 |
·结果和讨论 | 第48-59页 |
·低频交流电源放电特征 | 第49-51页 |
·小幅值射频放电特征 | 第51-53页 |
·小幅值射频电源对低频放电的影响 | 第53-59页 |
·小结 | 第59-60页 |
5. 射频和梯形短脉冲双电源放电特征 | 第60-71页 |
·引言 | 第60页 |
·理论模型 | 第60-62页 |
·大气压射频放电特性 | 第62-64页 |
·射频和梯形短脉冲双电源放电特征 | 第64-70页 |
·小结 | 第70-71页 |
6. 脉冲调制大气压射频放电特征 | 第71-86页 |
·理论模型 | 第71页 |
·脉冲调制射频放电中的自组织 | 第71-76页 |
·脉冲调制射频放电中的自组织 | 第71-75页 |
·脉冲调制射频放电中自组织形成的机理 | 第75-76页 |
·脉冲占空比对调制射频放电的影响 | 第76-85页 |
·低占空比时的放电模式 | 第77-79页 |
·高占空比时的放电模式 | 第79-82页 |
·脉冲占空比影响放电模式的机理分析 | 第82-85页 |
·小结 | 第85-86页 |
结论与展望 | 第86-88页 |
创新点摘要 | 第88-89页 |
参考文献 | 第89-96页 |
攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第96-97页 |
致谢 | 第97-98页 |
作者简介 | 第98-99页 |