第一章:红外探测器的发展 | 第1-20页 |
1 红外探测器技术的发展 | 第8-10页 |
2 红外探测器分类与比较 | 第10-14页 |
3 红外探测器性能的参数及提高其性能的方法 | 第14-15页 |
4 RCE红外探测器 | 第15-16页 |
5 本文的工作 | 第16-18页 |
参考文献 | 第18-20页 |
第二章:共振腔增强型探测器基本特性研究 | 第20-36页 |
1 引言 | 第20-21页 |
2 半导体PIN光电探测器的工作特性 | 第21-24页 |
3 共振腔增强型(RCE)红外探测器结构 | 第24页 |
4 RCE探测器量子效率 | 第24-32页 |
·RCE探测器量子效率公式 | 第25-27页 |
·量子效率特性分析 | 第27-28页 |
·共振腔增强效应 | 第28-31页 |
·驻波效应 | 第31-32页 |
5 RCE探测器频率响应 | 第32-34页 |
·传统PIN探测器频率响应 | 第32-33页 |
·RCE探测器的频率响应 | 第33-34页 |
参考文献 | 第34-36页 |
第三章:GaInAsSb共振腔增强红外光电探测器设计及性能模拟 | 第36-54页 |
1 引言 | 第36页 |
2 探测器材料优化 | 第36-41页 |
·DBR材料 | 第36-38页 |
·GaInAsSb材料组分 | 第38-41页 |
3 InAs/GaSb DBR的反射率和相移 | 第41-46页 |
·传递矩阵法(TMM)计算DBR反射率和和相移 | 第41-45页 |
·InAs/GaSb DBR的反射率 | 第45-46页 |
4 器件结构设计 | 第46-49页 |
5 探测器量子效率数值模拟 | 第49-52页 |
·GaInAsSb的吸收系数 | 第49-50页 |
·器件性能模拟 | 第50-52页 |
参考文献 | 第52-54页 |
第四章:MOCVD技术及GaInAsSb PIN光伏型红外探测器 | 第54-66页 |
1 引言 | 第54页 |
2 MOCVD外延生长技术及设备 | 第54-59页 |
·MOCVD外延生长技术 | 第54-56页 |
·LPMOCVD设备 | 第56-59页 |
3 GaInAsSb/GaSb PIN结构光伏型红外探测器及性能模拟 | 第59-65页 |
·GaInAsSb材料特性 | 第59-61页 |
·GaInAsSb/GaSb PIN探测器材料结构 | 第61页 |
·量子效率及光谱响应 | 第61-63页 |
·实验 | 第63-65页 |
参考文献 | 第65-66页 |
第五章:总结 | 第66-67页 |
发表文章目录 | 第67-68页 |
致谢 | 第68-69页 |
作者简介 | 第69-70页 |
长春光学精密机械与物理研究所硕士学位论文原创性声明 | 第70页 |