| 中文摘要 | 第1-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-40页 |
| 1．1 全固态薄膜锂电池研究 | 第12-28页 |
| 1．1．1 引言 | 第12-16页 |
| 1．1．2 发展简史 | 第16-21页 |
| 1．1．3 薄膜锂电池和锂磷氧氮电解质的研究动态 | 第21-28页 |
| 1．2 薄膜的脉冲激光沉积（PLD） | 第28-33页 |
| 1．2．1 引言 | 第28-29页 |
| 1．2．2 PLD的基本原理 | 第29-30页 |
| 1．2．3 PLD的特点 | 第30-31页 |
| 1．2．4 PLD在制备电极薄膜材料中的应用 | 第31-33页 |
| 1．3 本论文的目的和意义 | 第33-34页 |
| 参考文献 | 第34-40页 |
| 第二章 实验 | 第40-46页 |
| 2．1 主要化学试剂 | 第40页 |
| 2．2 薄膜制备方法 | 第40-42页 |
| 2．2．1 脉冲激光沉积 | 第40-41页 |
| 2．2．2 真空热蒸发镀膜 | 第41-42页 |
| 2．3 电解质薄膜电化学性能测定 | 第42-43页 |
| 2．3．1 交流阻抗法 | 第42页 |
| 2．3．2 循环伏安法 | 第42-43页 |
| 2．3．3 恒电流充放电 | 第43页 |
| 2．3．4 直流极化 | 第43页 |
| 2．4 电解质薄膜的物理性质表征 | 第43-45页 |
| 2．4．1 X射线衍射（XRD） | 第43页 |
| 2．4．2 扫描电镜（SEM）和能量色散X射线分析（EDX） | 第43-44页 |
| 2．4．3 X射线光电子能谱（XPS） | 第44页 |
| 2．4．4 傅立叶变换红外光谱（FTIR） | 第44页 |
| 2．4．5 台阶法 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-46页 |
| 第三章 PLD制备锂磷氧氮电解质薄膜 | 第46-60页 |
| 3．1 引言 | 第46-49页 |
| 3．2 实验 | 第49-50页 |
| 3．2．1 Li_3PO_4靶和基片的制备 | 第49-50页 |
| 3．2．2 LiPON薄膜制备与表征 | 第50页 |
| 3．3 结果与讨论 | 第50-58页 |
| 3．4 小结 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-60页 |
| 第四章 LiPON薄膜的结构和性能研究 | 第60-69页 |
| 4．1 引言 | 第60-61页 |
| 4．2 实验 | 第61页 |
| 4．3 结果与讨论 | 第61-67页 |
| 4．4 小结 | 第67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 第五章 PLD技术制备锂钒硅氧电解质薄膜 | 第69-82页 |
| 5．1 引言 | 第69-70页 |
| 5．2 实验 | 第70-71页 |
| 5．2．1 Li-V-Si-O靶和基片的制备 | 第70页 |
| 5．2．2 Li-V-Si-O薄膜制备与表征 | 第70-71页 |
| 5．3 结果与讨论 | 第71-79页 |
| 5．4 小结 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-82页 |
| 第六章 全固态薄膜锂电池制备及其性能研究 | 第82-90页 |
| 6．1 引言 | 第82-84页 |
| 6．2 全固态薄膜锂电池制备及其性能测定 | 第84-85页 |
| 6．3 结果与讨论 | 第85-88页 |
| 6．4 小结 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-90页 |
| 附录 | 第90-99页 |
| 1． 355 nm激光烧蚀LiMn_2O_4反应产物的飞行时间质谱 | 第91-98页 |
| 2． 攻读博士期间论文发表、专利申请情况 | 第98-99页 |
| 致谢 | 第99-100页 |