纳米级超精密抛光机控制系统研制
| 致谢 | 第1-4页 |
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| 英文摘要 | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·现代制造技术的发展 | 第9-10页 |
| ·精密加工和超精密加工的现状和发展 | 第10-13页 |
| ·本课题研究的意义 | 第13-14页 |
| ·本课题研究的任务 | 第14页 |
| ·小结 | 第14-15页 |
| 第二章 抛光机理与控制所面临的问题 | 第15-27页 |
| ·超精密抛光过程 | 第15-17页 |
| ·抛光主要因素 | 第17-19页 |
| ·各抛光参数对抛光效率及表面粗糙度的影响 | 第19-22页 |
| ·超精密测量技术 | 第22-25页 |
| ·超精密抛光机闭环控制所面临的困难 | 第25页 |
| ·单参数控制模式及控制要求的提出 | 第25-26页 |
| ·小结 | 第26-27页 |
| 第三章 超精密抛光机的控制系统总体结构 | 第27-38页 |
| ·嵌入式处理器及其外围模块 | 第27-29页 |
| ·速度及抛光盘位置传感器-光栅传感器 | 第29-30页 |
| ·DS18B20可编程分辨率温度传感器 | 第30-31页 |
| ·LCD液晶显示电路 | 第31-32页 |
| ·交流调速系统概况 | 第32-35页 |
| ·电力电子和微电子技术是现代交流调速的物质基础 | 第35-36页 |
| ·位置控制结构框图及其控制 | 第36页 |
| ·抛光液电加热容器模型分析 | 第36-37页 |
| ·电火花电源及修整系统 | 第37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 第四章 抛光盘运行控制研究 | 第38-48页 |
| ·交流控制电机的回路方程 | 第38-39页 |
| ·交流控制电机的状态方程和框图 | 第39页 |
| ·交流控制电机的解耦控制与框图 | 第39页 |
| ·电流环调节 | 第39-41页 |
| ·速度调节系统的设计 | 第41-42页 |
| ·二自由度PI速度调节系统的设计 | 第42-43页 |
| ·抛光盘运转模式与基于规则的速度控制 | 第43-46页 |
| ·系统实验和分析 | 第46-47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 第五章 抛光液温度控制研究 | 第48-59页 |
| ·智能控制系统的设计 | 第48-55页 |
| ·智能控制器的学习环节和修正环节 | 第55-58页 |
| ·抛光液温度控制效果 | 第58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| 第六章 抛光盘平面修整系统 | 第59-69页 |
| ·电火花加工历史 | 第59-60页 |
| ·电火花修整系统 | 第60页 |
| ·平面修整用电火花脉冲电源 | 第60-63页 |
| ·电极消耗与自动进给 | 第63-68页 |
| ·金属结合剂金刚石微粉砂轮电火花整形的实验 | 第68页 |
| ·小结 | 第68-69页 |
| 第七章 抛光机控制系统可靠性设计技术 | 第69-81页 |
| ·引言 | 第69页 |
| ·可靠性设计的重要性 | 第69-70页 |
| ·抛光机的可靠性模型 | 第70-71页 |
| ·抛光机的可靠性分析 | 第71-73页 |
| ·抛光机的控制系统设计中的可靠性保障技术 | 第73-76页 |
| ·抛光机的电磁兼容性设计 | 第76-80页 |
| ·小结 | 第80-81页 |
| 第八章 抛光机电气性能及抛光实验 | 第81-88页 |
| ·抛光机主要电气性能指标 | 第81-83页 |
| ·水晶的超精密加工 | 第83-86页 |
| ·小结 | 第86-88页 |
| 第九章 纳米级超精密抛光机的应用前景与发展 | 第88-90页 |
| ·纳米级超精密抛光机的应用前景 | 第88-89页 |
| ·抛光机机械电气性能提高展望 | 第89页 |
| ·网络化群控纳米级超精密抛光机的研制开发展望 | 第89页 |
| ·小结 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-97页 |
| 在攻读硕士期间完成的项目、论文 | 第97页 |
