第一章 绪言 | 第1-10页 |
1.1 研究背景 | 第8页 |
1.2 问题的提出 | 第8-9页 |
1.3 本文的工作 | 第9-10页 |
第二章 平面光波导材料的研究进展 | 第10-31页 |
2.1 平面光波导理论及研究进展 | 第10-24页 |
2.1.1 光通信的历史与现状 | 第10-11页 |
2.1.2 平面波导理论 | 第11-14页 |
2.1.3 无源光波导材料 | 第14-16页 |
2.1.3.1 LiNbO_3材料 | 第14-15页 |
2.1.3.2 Ⅲ—Ⅴ族化合物半导体材料 | 第15-16页 |
2.1.3.3 Si材料 | 第16页 |
2.1.4 有源光波导材料 | 第16-24页 |
2.1.4.1 稀土掺杂有源光波导材料 | 第16-22页 |
2.1.4.2 有机染料掺杂有源光波导材料 | 第22-24页 |
2.2 平面光波导材料制备工艺 | 第24-29页 |
2.2.1 无机基光波导材料 | 第24-27页 |
2.2.1.1 溶胶—凝胶法的特点 | 第24-25页 |
2.2.1.2 溶胶—凝胶法制备薄膜的工艺过程 | 第25-27页 |
2.2.2 聚合物光波导材料 | 第27-29页 |
2.3 光通信窗口材料研究概况 | 第29-31页 |
第三章 实验方法 | 第31-37页 |
3.1 实验依据 | 第31-33页 |
3.1.1 材料体系及其先驱体的选择确定 | 第31-32页 |
3.1.2 实验原料及所用仪器 | 第32-33页 |
3.2 样品制备 | 第33-34页 |
3.2.1 ZrO_2-SiO_2二元系统凝胶玻璃的制备 | 第33页 |
3.2.2 ZrO_2-SiO_2二元系统薄膜的制备 | 第33-34页 |
3.3 表征技术 | 第34-37页 |
第四章 ZrO_2—SiO_2二元系统凝胶玻璃制备及其性能表征 | 第37-49页 |
4.1 引言 | 第37页 |
4.2 二元凝胶玻璃组成对折射率的调控研究 | 第37-40页 |
4.2.1 材料制备 | 第38页 |
4.2.2 凝胶玻璃的折射率测试 | 第38-39页 |
4.2.3 凝胶玻璃的组成及其对材料折射率的影响 | 第39-40页 |
4.3 热处理对二元凝胶玻璃折射率影响 | 第40-44页 |
4.4 二元凝胶玻璃的结构分析 | 第44-47页 |
4.5 本章结论 | 第47-49页 |
第五章 ZrO_2—SiO_2二元系统薄膜的制备及其性能测试 | 第49-58页 |
5.1 引言 | 第49页 |
5.2 薄膜的制备和测试 | 第49-50页 |
5.3 匀胶速度对薄膜厚度的影响 | 第50-51页 |
5.4 陈化时间对薄膜折射率和膜厚的影响 | 第51-52页 |
5.5 组成对薄膜折射率的影响 | 第52-53页 |
5.6 热处理对薄膜折射率和厚度的影响 | 第53-54页 |
5.7 光损耗测试及热处理对光损耗的影响 | 第54-57页 |
5.8 本章结论 | 第57-58页 |
第六章 结论 | 第58-60页 |
参考文献 | 第60-65页 |
致谢 | 第65页 |