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ZrO2—SiO2二元系统平面光波导材料的制备与性能表征

第一章 绪言第1-10页
 1.1 研究背景第8页
 1.2 问题的提出第8-9页
 1.3 本文的工作第9-10页
第二章 平面光波导材料的研究进展第10-31页
 2.1 平面光波导理论及研究进展第10-24页
  2.1.1 光通信的历史与现状第10-11页
  2.1.2 平面波导理论第11-14页
  2.1.3 无源光波导材料第14-16页
   2.1.3.1 LiNbO_3材料第14-15页
   2.1.3.2 Ⅲ—Ⅴ族化合物半导体材料第15-16页
   2.1.3.3 Si材料第16页
  2.1.4 有源光波导材料第16-24页
   2.1.4.1 稀土掺杂有源光波导材料第16-22页
   2.1.4.2 有机染料掺杂有源光波导材料第22-24页
 2.2 平面光波导材料制备工艺第24-29页
  2.2.1 无机基光波导材料第24-27页
   2.2.1.1 溶胶—凝胶法的特点第24-25页
   2.2.1.2 溶胶—凝胶法制备薄膜的工艺过程第25-27页
  2.2.2 聚合物光波导材料第27-29页
 2.3 光通信窗口材料研究概况第29-31页
第三章 实验方法第31-37页
 3.1 实验依据第31-33页
  3.1.1 材料体系及其先驱体的选择确定第31-32页
  3.1.2 实验原料及所用仪器第32-33页
 3.2 样品制备第33-34页
  3.2.1 ZrO_2-SiO_2二元系统凝胶玻璃的制备第33页
  3.2.2 ZrO_2-SiO_2二元系统薄膜的制备第33-34页
 3.3 表征技术第34-37页
第四章 ZrO_2—SiO_2二元系统凝胶玻璃制备及其性能表征第37-49页
 4.1 引言第37页
 4.2 二元凝胶玻璃组成对折射率的调控研究第37-40页
  4.2.1 材料制备第38页
  4.2.2 凝胶玻璃的折射率测试第38-39页
  4.2.3 凝胶玻璃的组成及其对材料折射率的影响第39-40页
 4.3 热处理对二元凝胶玻璃折射率影响第40-44页
 4.4 二元凝胶玻璃的结构分析第44-47页
 4.5 本章结论第47-49页
第五章 ZrO_2—SiO_2二元系统薄膜的制备及其性能测试第49-58页
 5.1 引言第49页
 5.2 薄膜的制备和测试第49-50页
 5.3 匀胶速度对薄膜厚度的影响第50-51页
 5.4 陈化时间对薄膜折射率和膜厚的影响第51-52页
 5.5 组成对薄膜折射率的影响第52-53页
 5.6 热处理对薄膜折射率和厚度的影响第53-54页
 5.7 光损耗测试及热处理对光损耗的影响第54-57页
 5.8 本章结论第57-58页
第六章 结论第58-60页
参考文献第60-65页
致谢第65页

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