| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| ·微纳结构的加工方法 | 第10-11页 |
| ·传统的微电子工艺 | 第10页 |
| ·LIGA 技术 | 第10页 |
| ·三束工艺 | 第10-11页 |
| ·飞秒激光微纳加工技术 | 第11-13页 |
| ·双光子吸收聚合原理 | 第11-12页 |
| ·飞秒激光微纳加工技术的国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·本文的研究意义及设计思路 | 第13-14页 |
| ·本文的研究意义 | 第13页 |
| ·本文的设计思路 | 第13-14页 |
| 第二章 飞秒激光三维微纳加工系统的设计 | 第14-31页 |
| ·光源和光路 | 第14-16页 |
| ·光路系统的组成 | 第14-15页 |
| ·光路搭建时的主意事项 | 第15-16页 |
| ·计算机辅助制造的三维控制 | 第16-27页 |
| ·二维的 X-Y 平面扫描系统 | 第17-23页 |
| ·纳米定位平台技术 | 第23-25页 |
| ·高速光开关 | 第25-27页 |
| ·飞秒激光微纳加工系统的使用方法 | 第27-31页 |
| ·使用飞秒激光微纳加工系统的前期工作 | 第27页 |
| ·飞秒激光微纳加工系统的加工步骤 | 第27-28页 |
| ·飞秒激光微纳加工系统的软件 | 第28-31页 |
| 第三章 基于飞秒激光微纳加工系统的数据模型的计算机辅助设计 | 第31-53页 |
| ·平面图片转换为可加工数据的设计 | 第31-33页 |
| ·三维几何图形转换为可加工数据的设计 | 第33-41页 |
| ·STL 模型简介 | 第33页 |
| ·STL 模型的数据类型的定义以及文件读取 | 第33-36页 |
| ·直角坐标系下 STL 模型的转换 | 第36-41页 |
| ·具有特殊要求的规则三维图形的设计 | 第41-53页 |
| ·弹簧的制作 | 第41-43页 |
| ·任意周期结构数据模型的设计 | 第43-46页 |
| ·双层微机械手的制作 | 第46-53页 |
| 第四章 飞秒激光微纳加工系统的应用 | 第53-66页 |
| ·简单微纳结构的加工 | 第53-55页 |
| ·简单半球结构的加工 | 第53-54页 |
| ·立体花结构的加工 | 第54-55页 |
| ·复杂金属光子晶体的制备以及对热辐射的调控 | 第55-61页 |
| ·石墨原子晶格结构光子晶体的制作 | 第56页 |
| ·聚合物光子晶体化学镀镍 | 第56-58页 |
| ·金属光子晶体对热辐射的调控 | 第58-61页 |
| ·溶剂响应微型机械手的制备及应用 | 第61-66页 |
| ·溶剂响应的原理及规律 | 第61-62页 |
| ·微机械手的制备 | 第62-63页 |
| ·倒置加工在光纤上的微机械手 | 第63-64页 |
| ·微机械手的应用 | 第64-66页 |
| 第五章 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士学位期间取得的科研成果 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |