| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 选题背景与研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 PAA的结构及制备方法 | 第11-13页 |
| 1.2.1 PAA的结构 | 第11-12页 |
| 1.2.2 PAA膜的制备方法 | 第12-13页 |
| 1.3 基于PAA模板纳米功能材料制备的研究进展 | 第13-17页 |
| 1.3.1 电化学沉积(ECD) | 第14页 |
| 1.3.2 原子层沉积(ALD) | 第14页 |
| 1.3.3 物理气相沉积(PVD) | 第14-15页 |
| 1.3.4 模板湿法(Template Wetting) | 第15-16页 |
| 1.3.5 熔融注射法 | 第16-17页 |
| 1.4 电介质电容器的研究进展 | 第17-19页 |
| 1.4.1 电介质电容器的简介 | 第17-18页 |
| 1.4.2 高比容电介质电容器的研究进展 | 第18-19页 |
| 1.5 本文主要研究目的和研究内容 | 第19-20页 |
| 1.5.1 主要研究目的 | 第19页 |
| 1.5.2 主要研究内容 | 第19-20页 |
| 2 高场阳极氧化与高度有序PAA模板的制备 | 第20-49页 |
| 2.1 实验部分 | 第20-22页 |
| 2.1.1 实验药品及仪器 | 第20-21页 |
| 2.1.2 实验步骤 | 第21-22页 |
| 2.1.3 形貌和性能表征 | 第22页 |
| 2.2 PAA有序度定量分析方法 | 第22-26页 |
| 2.2.1 径向分布函数(RDF) | 第22-23页 |
| 2.2.2 角度分布函数(ADF) | 第23页 |
| 2.2.3 角度定向函数(AOD) | 第23-26页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第26-48页 |
| 2.3.1 高场阳极氧化的实现 | 第26-37页 |
| 2.3.2 其他影响PAA膜有序度的因素 | 第37-46页 |
| 2.3.3 通孔PAA模板的制备 | 第46-48页 |
| 2.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 3 氧化铝电介质膜电容性能的研究 | 第49-55页 |
| 3.1 实验部分 | 第49-50页 |
| 3.1.1 实验药品及仪器 | 第49-50页 |
| 3.1.2 实验步骤 | 第50页 |
| 3.1.3 性能测试和表征 | 第50页 |
| 3.2 结果与讨论 | 第50-54页 |
| 3.2.1 形成液对氧化铝电介质膜电容性能的影响 | 第50-52页 |
| 3.2.2 温度对氧化铝电介质膜电容性能的影响 | 第52-53页 |
| 3.2.3 形成电压对电介质膜电容性能的影响 | 第53-54页 |
| 3.3 本章小结 | 第54-55页 |
| 4 铝纳米柱的制备及纳米电介质电容器的构建 | 第55-69页 |
| 4.1 实验部分 | 第55-57页 |
| 4.1.1 实验药品及仪器 | 第55-56页 |
| 4.1.2 实验步骤 | 第56-57页 |
| 4.1.3 性能测试和表征 | 第57页 |
| 4.2 结果与讨论 | 第57-68页 |
| 4.2.1 铝纳米柱型电介质电容器理论电容和能量密度 | 第57-61页 |
| 4.2.2 大直径铝纳米柱阵列的制备 | 第61-64页 |
| 4.2.3 小直径铝纳米柱阵列的制备 | 第64-65页 |
| 4.2.4 纳米电介质电容器的制备和性能表征 | 第65-68页 |
| 4.3 本章小结 | 第68-69页 |
| 5 总结与展望 | 第69-71页 |
| 5.1 主要结论 | 第69-70页 |
| 5.2 创新点 | 第70页 |
| 5.3 展望 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-80页 |
| 附录 | 第80页 |