激光外差干涉微位移测量系统研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第10页 |
| 1.2 国内外现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 激光外差干涉发展及现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 古斯汉欣位移研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.3 PSD研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 本论文主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 激光外差干涉相位检测系统设计 | 第16-28页 |
| 2.1 系统整体设计方案 | 第16页 |
| 2.2 激光外差干涉原理及改进 | 第16-18页 |
| 2.2.1 激光外差干涉原理 | 第16-17页 |
| 2.2.2 光路的改进 | 第17-18页 |
| 2.3 激光外差干涉系统器件选型 | 第18-27页 |
| 2.3.1 激光器选型 | 第18-19页 |
| 2.3.2 声光调制器 | 第19-22页 |
| 2.3.3 偏振分光棱镜选型 | 第22页 |
| 2.3.4 起偏器与检偏器选型 | 第22页 |
| 2.3.5 旋转平台选型 | 第22-24页 |
| 2.3.6 镀金膜直角棱镜 | 第24-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 PSD信号采集与处理模块设计 | 第28-50页 |
| 3.1 PSD信号采集与处理的原理 | 第28页 |
| 3.2 器件选型及依据 | 第28-38页 |
| 3.2.1 PSD选型 | 第28-35页 |
| 3.2.2 运算放大器选型 | 第35-36页 |
| 3.2.3 AD转换芯片选型 | 第36-37页 |
| 3.2.4 单片机选型 | 第37-38页 |
| 3.3 PSD硬件电路设计 | 第38-45页 |
| 3.3.1 PSD信号处理电路 | 第38-44页 |
| 3.3.2 系统的电源设计 | 第44-45页 |
| 3.4 系统软件设计 | 第45-48页 |
| 3.4.1 软件总体设计 | 第45-46页 |
| 3.4.2 用户界面模块 | 第46-47页 |
| 3.4.3 数据采集和处理 | 第47-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 实验结果及误差分析 | 第50-64页 |
| 4.1 实验数据及分析 | 第50-58页 |
| 4.1.1 光功率测试实验及分析 | 第50-51页 |
| 4.1.2 外差干涉光路噪声测试实验及分析 | 第51-52页 |
| 4.1.3 通讯端口测试实验及分析 | 第52-53页 |
| 4.1.4 精度测量实验 | 第53-55页 |
| 4.1.5 位移测量实验及分析 | 第55-58页 |
| 4.2 误差分析 | 第58-61页 |
| 4.2.1 外差干涉系统部分误差 | 第58-60页 |
| 4.2.2 数据采集和处理部分误差 | 第60-61页 |
| 4.3 本章小结 | 第61-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 5.1 总结 | 第64-65页 |
| 5.2 展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
