| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 光纤湿度传感研究的背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 相对湿度和绝对湿度的定义 | 第10-11页 |
| 1.3 光纤湿度传感器的分类 | 第11-16页 |
| 1.3.1 光纤光栅型湿度传感器 | 第11-13页 |
| 1.3.2 基于倏逝波原理的光纤湿度传感器 | 第13-14页 |
| 1.3.3 光强调制型光纤湿度传感器 | 第14-15页 |
| 1.3.4 干涉型光纤湿度传感器 | 第15-16页 |
| 1.4 国内外光纤湿度传感的研究近展 | 第16-18页 |
| 1.5 本文研究背景及主要内容 | 第18-20页 |
| 第2章F-P型光纤湿度传感器的传感机理 | 第20-31页 |
| 2.1 氧化物表面的水分子吸收原理 | 第20-21页 |
| 2.2 多孔材料的毛细冷凝吸湿 | 第21-23页 |
| 2.3 多孔氧化物薄膜的等效折射率 | 第23-24页 |
| 2.4 多孔TiO_2/SiO_2/TiO_2介质薄膜的多光束干涉 | 第24-26页 |
| 2.5 湿度传感特性的数值模拟 | 第26-30页 |
| 2.6 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 湿敏薄膜的膜系设计、制备和测试 | 第31-40页 |
| 3.1 多孔介质薄膜的膜系设计 | 第31-33页 |
| 3.2 湿敏薄膜的制备 | 第33-36页 |
| 3.2.1 薄膜制备技术 | 第33-34页 |
| 3.2.2 湿敏薄膜的制备工艺 | 第34-36页 |
| 3.3 湿敏薄膜的测量 | 第36-40页 |
| 3.3.1 椭圆偏振仪原理 | 第37页 |
| 3.3.2 椭圆偏振仪对湿敏薄膜的测量 | 第37-40页 |
| 第4章 光纤湿度传感器实验方案与实验结果分析 | 第40-69页 |
| 4.1 传感器探头概述 | 第40-41页 |
| 4.2 实验系统 | 第41-46页 |
| 4.2.1 湿度传感检测系统 | 第41-44页 |
| 4.2.2 湿度发生装置 | 第44-46页 |
| 4.3 实验结果与分析 | 第46-67页 |
| 4.3.1 探头性能介绍 | 第46-53页 |
| 4.3.2 制备工艺对传感器性能的影响 | 第53-60页 |
| 4.3.3 传感器老化时间与湿度灵敏度的关系 | 第60-62页 |
| 4.3.4 热处理改进长期稳定性的实验研究 | 第62-67页 |
| 4.4 本章小结 | 第67-69页 |
| 第5章 光纤相对湿度传感系统的应用 | 第69-72页 |
| 5.1 项目背景介绍 | 第69-70页 |
| 5.2 技术指标的实验验证 | 第70-71页 |
| 5.3 传感器校准证书 | 第71-72页 |
| 第6章 总结 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 攻读学位期间获得与学位论文相关的科研成果 | 第79-80页 |
| 附录A：湖北省计量测试技术研究院校准证书 | 第80-83页 |
| 附录B：中国工程物理研究院计量测试中心校准证书 | 第83-85页 |