| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 热释电材料概述 | 第13-21页 |
| 1.2.1 热释电材料研究进展与现状 | 第14-18页 |
| 1.2.2 硅基PZT厚膜材料的研究现状 | 第18-21页 |
| 1.3 本文选题背景及意义 | 第21-23页 |
| 第二章 实验方法 | 第23-36页 |
| 2.1 直流磁控溅射 | 第23-24页 |
| 2.2 粉体制备技术 | 第24-26页 |
| 2.3 纳米棒制备方法 | 第26-27页 |
| 2.4 材料微观结构测试方法 | 第27-30页 |
| 2.4.1 X射线衍射 | 第27-28页 |
| 2.4.2 扫描电子显微镜 | 第28-29页 |
| 2.4.3 透射电子显微镜 | 第29页 |
| 2.4.4 原子力显微镜 | 第29-30页 |
| 2.5 热释电材料电性能与红外探测器性能测试方法 | 第30-36页 |
| 2.5.1 热释电材料电性能测试 | 第30-32页 |
| 2.5.2 红外探测器的性能测试 | 第32-36页 |
| 第三章 电泳沉积法制备PZT厚膜研究 | 第36-62页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 水热法制备PZT纳米粉 | 第36-42页 |
| 3.2.1 矿化剂浓度优化实验 | 第37-38页 |
| 3.2.2 水热温度优化 | 第38-39页 |
| 3.2.3 不同钛源优化实验 | 第39-42页 |
| 3.3 悬浮液的制备实验 | 第42-49页 |
| 3.3.1 悬浮液中PZT粉体的分散行为 | 第42-44页 |
| 3.3.2 PH值对悬浮液稳定性的影响 | 第44-47页 |
| 3.3.3 PVP含量对悬浮液稳定性的影响 | 第47-49页 |
| 3.4 电泳沉积理论与实验研究 | 第49-61页 |
| 3.4.1 电泳沉积动力学模型 | 第49-51页 |
| 3.4.2 恒压模式电泳沉积制备PZT厚膜研究 | 第51-61页 |
| 3.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 PZT厚膜材料制备方法研究 | 第62-76页 |
| 4.1 引言 | 第62页 |
| 4.2 PZT厚膜助烧剂研究 | 第62-67页 |
| 4.2.1 PGO助烧剂的制备 | 第63页 |
| 4.2.2 PGO含量与烧结温度对厚膜材料性能的影响 | 第63-67页 |
| 4.3 Si/Pb互扩散阻挡层研究 | 第67-72页 |
| 4.3.1 Ti Ox扩散阻挡层的制备 | 第67-68页 |
| 4.3.2 Ti Ox扩散阻挡层对材料性能的影响 | 第68-72页 |
| 4.4 冷等静压对厚膜材料的影响 | 第72-74页 |
| 4.5 本章小结 | 第74-76页 |
| 第五章 PZT厚膜红外探测器设计及制备 | 第76-92页 |
| 5.1 引言 | 第76页 |
| 5.2 热传递分析 | 第76-84页 |
| 5.2.1 硅杯器件结构及其热传递分析 | 第76-79页 |
| 5.2.2 热隔离槽对热传递的影响 | 第79-80页 |
| 5.2.3 底部支撑层厚度对热传递的影响 | 第80-82页 |
| 5.2.4 微桥悬梁臂对热绝缘的影响 | 第82-84页 |
| 5.3 双硅杯PZT厚膜器件制备工艺 | 第84-88页 |
| 5.3.1 器件制作MEMS工艺流程 | 第84-86页 |
| 5.3.2 器件制备的关键工艺 | 第86-88页 |
| 5.4 PZT厚膜红外探测器性能测试 | 第88-91页 |
| 5.5 本章小结 | 第91-92页 |
| 第六章 PZT单晶纳米棒及多孔厚膜材料研究 | 第92-115页 |
| 6.1 引言 | 第92页 |
| 6.2 水热法制备PZT纳米棒 | 第92-96页 |
| 6.2.1 PZT纳米棒制备工艺流程 | 第92-93页 |
| 6.2.2 表面活性剂合成纳米棒的微观机制 | 第93-96页 |
| 6.3 PZT纳米棒阵列研究 | 第96-106页 |
| 6.3.1 水热法生长PZT纳米棒阵列的衬底确定 | 第96-98页 |
| 6.3.2 表面成核密度研究 | 第98-104页 |
| 6.3.3 PZT纳米棒热释电系数测试 | 第104-106页 |
| 6.4 PZT纳米棒对厚膜材料与器件的影响研究 | 第106-111页 |
| 6.4.1 单晶纳米棒掺杂的PZT厚膜制备 | 第106页 |
| 6.4.2 纳米棒掺杂的PZT厚膜材料表征及孔洞结构形成机制研究 | 第106-109页 |
| 6.4.3 纳米棒掺杂的PZT厚膜材料性能测试 | 第109-111页 |
| 6.5 单晶纳米棒掺杂的PZT厚膜器件性能测试 | 第111-114页 |
| 6.6 本章小节 | 第114-115页 |
| 第七章 结论 | 第115-118页 |
| 7.1 工作小结 | 第115-116页 |
| 7.2 主要创新点 | 第116页 |
| 7.3 对进一步研究的建议 | 第116-118页 |
| 致谢 | 第118-119页 |
| 参考文献 | 第119-127页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第127-128页 |