| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 引言 | 第8-11页 |
| 1.1 论文的背景及研究意义 | 第8页 |
| 1.2 国内外研究概况 | 第8-10页 |
| 1.3 本文主要内容 | 第10-11页 |
| 2 等离子体理论基础 | 第11-20页 |
| 2.1 等离子体描基本性质 | 第11-13页 |
| 2.2 等离子体描述方法介绍 | 第13-18页 |
| 2.3 几种典型的非平衡等离子体 | 第18-19页 |
| 2.4 本章小结 | 第19-20页 |
| 3 发射光谱诊断技术基础 | 第20-32页 |
| 3.1 发射光谱诊断技术介绍 | 第20-21页 |
| 3.2 利用原子发射光谱的特性来测量各类参数的一些具体做法 | 第21-24页 |
| 3.3 双原子分子发射光谱介绍 | 第24-31页 |
| 3.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 4 微波脉冲 N2等离子体测量过程 | 第32-46页 |
| 4.1 实验示意图与装置参数 | 第32-33页 |
| 4.2 测量方法 | 第33-40页 |
| 4.3 实验结果与讨论 | 第40-43页 |
| 4.4 本章小结 | 第43-46页 |
| 5 总结与展望 | 第46-48页 |
| 5.1 总结 | 第46页 |
| 5.2 展望 | 第46-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-54页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第54页 |