| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 符号说明 | 第9-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-15页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第12-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13页 |
| 1.3 论文研究的目标及主要内容 | 第13-14页 |
| 1.4 论文的组织结构及其章节编排 | 第14-15页 |
| 第二章 设备维护业务分析和优化方案 | 第15-28页 |
| 2.1 设备维护业务分析 | 第15-20页 |
| 2.1.1 传统方式的半导体设备维护流程 | 第15-19页 |
| 2.1.2 传统设备维护方式存在的问题 | 第19-20页 |
| 2.2 设备维护优化方案 | 第20-27页 |
| 2.2.1 基于时间的设备维护优化方案 | 第20-24页 |
| 2.2.2 基于规则的设备维护优化方案 | 第24-27页 |
| 2.3 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 需求分析和架构设计 | 第28-47页 |
| 3.1 系统需求分析 | 第28-40页 |
| 3.1.1 功能性需求 | 第28-39页 |
| 3.1.2 非功能性需求 | 第39-40页 |
| 3.2 架构设计 | 第40-46页 |
| 3.2.1 技术架构视图 | 第40-41页 |
| 3.2.2 部署架构视图 | 第41-43页 |
| 3.2.3 逻辑架构视图 | 第43-46页 |
| 3.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 关键技术和核心模块的设计与实现 | 第47-70页 |
| 4.1 设备参数的采集和传输 | 第47-60页 |
| 4.1.1 设备参数采集 | 第47-53页 |
| 4.1.2 设备参数传输 | 第53-60页 |
| 4.2 基于规则的设备维护的实现 | 第60-67页 |
| 4.2.1Usage Base PM的触发 | 第60-64页 |
| 4.2.2 Usage-Base PM的执行 | 第64-67页 |
| 4.3 设备维护工作计划自动制定 | 第67-69页 |
| 4.3.1 PM状态判断触发器 | 第67-68页 |
| 4.3.2 Time Base PM动作执行触发器 | 第68-69页 |
| 4.4 本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 系统测试及应用 | 第70-79页 |
| 5.1 功能性测试 | 第70-75页 |
| 5.1.1 测试环境 | 第70-71页 |
| 5.1.2 测试方案 | 第71-73页 |
| 5.1.3 测试结果及分析 | 第73-75页 |
| 5.2 系统应用 | 第75-78页 |
| 5.2.1 应用概述 | 第75页 |
| 5.2.2 运行实例 | 第75-77页 |
| 5.2.3 应用效果及分析 | 第77-78页 |
| 5.3 本章小结 | 第78-79页 |
| 第六章 总结与展望 | 第79-80页 |
| 6.1 本文工作总结 | 第79页 |
| 6.2 下一步工作 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 作者攻读学位期间发表的论文 | 第83页 |