| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.2 本课题的研究背景以及意义 | 第10-11页 |
| 1.3 超精密技术国内外发展态势 | 第11-14页 |
| 1.4 超精密加工中的锗单晶及超精密加工方法 | 第14-17页 |
| 1.4.1 锗单晶的应用及战略意义 | 第14-16页 |
| 1.4.2 超精密加工方法 | 第16-17页 |
| 1.5 超精密表面质量的评价标准 | 第17-19页 |
| 1.6 超精密加工的未来发展 | 第19页 |
| 1.7 本文的研究目的与方法 | 第19-22页 |
| 第二章 影响锗单晶超精密加工过程的基本因素 | 第22-30页 |
| 2.1 环境因素 | 第22-23页 |
| 2.1.1 超精密实验室的空气质量控制 | 第22页 |
| 2.1.2 超精密实验室的室温控制 | 第22-23页 |
| 2.1.3 超精密实验室的环境防振要求 | 第23页 |
| 2.2 车削参数对锗单晶超精密加工表面粗糙度的影响 | 第23-29页 |
| 2.2.1 实验设备与材料 | 第24-25页 |
| 2.2.2 实验过程 | 第25-28页 |
| 2.2.3 实验结论 | 第28-29页 |
| 2.3 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 功率谱密度对锗单晶超精密加工表面质量的评价 | 第30-50页 |
| 3.1 表面形貌特征的常用评判参数 | 第30-31页 |
| 3.2 功率谱的发展 | 第31-32页 |
| 3.3 功率谱密度原理 | 第32-33页 |
| 3.4 功率谱密度一维图的估算原理 | 第33-44页 |
| 3.4.1 形貌周期图的定义法 | 第33-34页 |
| 3.4.2 形貌周期图估计算法的质量评价 | 第34-44页 |
| 3.5 功率谱密度的二维估算法 | 第44-47页 |
| 3.5.1 功率谱密度二维估算法的定义 | 第44页 |
| 3.5.2 功率谱密度在二维区域的估算方法 | 第44-45页 |
| 3.5.3 功率谱密度的一维和二维转换原理 | 第45-46页 |
| 3.5.4 表面质量评价参数在功率谱密度中的意义 | 第46-47页 |
| 3.6 本章小结 | 第47-50页 |
| 第四章 功率谱密度在锗单晶超精密加工中的应用 | 第50-62页 |
| 4.1 相同加工方法相似表面粗糙度的功率谱密度分析 | 第50-53页 |
| 4.2 不同加工方法的功率谱密度分析 | 第53-54页 |
| 4.3 切削参数对功率谱密度的影响 | 第54-60页 |
| 4.3.1 切削深度对功率谱密度的影响 | 第54-56页 |
| 4.3.2 主轴转速对功率谱密度的影响 | 第56-58页 |
| 4.3.3 金刚石刀具进给量对功率谱密度的影响 | 第58-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-62页 |
| 第五章 分形维数对锗单晶超精密加工表面质量的评价 | 第62-70页 |
| 5.1 引言 | 第62页 |
| 5.2 分形理论的定义 | 第62-63页 |
| 5.2.1 分形的概述 | 第62-63页 |
| 5.2.2 维数的定义方法 | 第63页 |
| 5.3 分形维数的估算原理 | 第63-65页 |
| 5.3.1 盒计算法 | 第63-64页 |
| 5.3.2 尺度法 | 第64页 |
| 5.3.3 功率谱密度法 | 第64页 |
| 5.3.4 结构函数法 | 第64-65页 |
| 5.4 不同加工方法的分形维数计算及比较 | 第65-66页 |
| 5.5 不同切削参数对分形维数的影响 | 第66-68页 |
| 5.5.1 切削深度对分形维数的影响 | 第66页 |
| 5.5.2 主轴转速对分形维数的影响 | 第66-67页 |
| 5.5.3 进给量对分形维数的影响 | 第67-68页 |
| 5.6 分形维数判定法与功率谱密度法的实用性比较 | 第68-69页 |
| 5.7 本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 结论与展望 | 第70-72页 |
| 6.1 结论 | 第70-71页 |
| 6.2 展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 附录A 作者在硕士学位期间发表的论文 | 第77页 |
