| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-30页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·表面等离子体与表面等离子体激元 | 第8-20页 |
| ·表面等离子体的研究背景 | 第8页 |
| ·表面等离子体的色散关系 | 第8-10页 |
| ·表面等离子体的激发 | 第10-13页 |
| ·表面等离子体引发的新现象 | 第13-15页 |
| ·表面等离子体的应用 | 第15-20页 |
| ·二维亚波长金属孔阵的增强透射效应 | 第20-24页 |
| ·单孔的透射效应 | 第20-21页 |
| ·透过周期性孔阵列的增强透射效应 | 第21-24页 |
| ·课题意义 | 第24-25页 |
| ·论文构架 | 第25页 |
| ·参考文献 | 第25-30页 |
| 第二章 亚波长孔阵的表面等离子体增强透射效应 | 第30-54页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·彭罗氏二维准晶结构 | 第30-32页 |
| ·样品的制备 | 第32-37页 |
| ·聚焦离子束无掩模刻蚀技术 | 第32-33页 |
| ·不同排列方式和不同孔距二维孔阵的制备 | 第33-37页 |
| ·二维彭罗氏孔阵的远场衍射图 | 第37-39页 |
| ·实验装置 | 第37-38页 |
| ·彭罗氏二维准晶金属孔阵的远场衍射图 | 第38-39页 |
| ·二维孔阵的光学透射谱 | 第39-45页 |
| ·实验装置 | 第39页 |
| ·不同孔间距的二维孔阵的透射谱及结果分析 | 第39-44页 |
| ·不同排列的二维孔阵的透射谱及结果分析 | 第44-45页 |
| ·用时域有限差分法模拟二维孔阵的透射谱 | 第45-48页 |
| ·时域有限差分法及Lumerical软件 | 第45-46页 |
| ·模拟结果与实验结果的比较 | 第46-48页 |
| ·准晶和周期结构的近场扫描光学图像 | 第48-52页 |
| ·实验光路 | 第48-49页 |
| ·不同波长激光照射下的二维孔阵近场光强分布 | 第49-51页 |
| ·同一波长下不同排列的二维孔阵近场光强分布 | 第51-52页 |
| ·总结 | 第52-53页 |
| ·参考文献 | 第53-54页 |
| 第三章 激光干涉光刻系统 | 第54-64页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·激光干涉光刻技术的基本原理 | 第54-56页 |
| ·激光干涉光刻的理论基础 | 第54-55页 |
| ·两束光的激光干涉光刻原理 | 第55-56页 |
| ·激光干涉光刻系统的主要组成部分 | 第56-57页 |
| ·两种常用的两束光激光干涉光刻系统 | 第57-59页 |
| ·Mach-Zehnder干涉仪 | 第57-58页 |
| ·Lloyd平面镜干涉仪 | 第58-59页 |
| ·基于Lloyd平面镜干涉仪的激光干涉光刻系统的搭建 | 第59-62页 |
| ·基本组成部件 | 第59-61页 |
| ·Lloyd平面镜干涉仪的误差产生 | 第61-62页 |
| ·总结 | 第62页 |
| ·参考文献 | 第62-64页 |
| 第四章 总结与改进 | 第64-66页 |
| ·总结 | 第64-65页 |
| ·改进 | 第65-66页 |
| 附录:攻读硕士期间发表的论文 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |