| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章:文献综述、研究意义和目的 | 第10-26页 |
| ·铝离子掺杂氧化锌薄膜的研究和发展现状 | 第10-17页 |
| ·氧化锌的结构 | 第11-12页 |
| ·氧化锌特性 | 第12-13页 |
| ·AZO薄膜的结构及特性 | 第13-15页 |
| ·AZO薄膜的应用 | 第15-17页 |
| ·铝离子掺杂氧化锌薄膜的制备工艺 | 第17-23页 |
| ·磁控溅射法 | 第17-18页 |
| ·喷雾热分解 | 第18-19页 |
| ·化学气相沉积法 | 第19-20页 |
| ·离子镀膜 | 第20页 |
| ·分子束外延法 | 第20-21页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第21-22页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第22-23页 |
| ·AZO薄膜的研究现状 | 第23-25页 |
| ·AZO薄膜的国外研究现状 | 第23-24页 |
| ·AZO薄膜的国内研究现状 | 第24-25页 |
| ·本论文的研究目的和意义 | 第25-26页 |
| 第二章 实验 | 第26-38页 |
| ·实验原理及方法 | 第26-28页 |
| ·实验试剂及设备 | 第28-30页 |
| ·铝离子掺杂ZnO薄膜和未掺杂ZnO薄膜的制备工艺 | 第30-33页 |
| ·基片的预处理 | 第30页 |
| ·涂膜及热处理 | 第30-32页 |
| ·未掺杂ZnO薄膜的制备 | 第32-33页 |
| ·薄膜的性能和结构表征 | 第33-38页 |
| ·X射线衍射成分与结构分析 | 第33-34页 |
| ·扫描电子显微镜分析(SEM) | 第34-35页 |
| ·薄膜的透光性能分析 | 第35-36页 |
| ·薄膜的电阻测定 | 第36-38页 |
| 第三章 结果与讨论 | 第38-56页 |
| ·掺铝氧化锌薄膜的晶体结构 | 第38-43页 |
| ·掺杂浓度对薄膜晶体结构的影响 | 第38-40页 |
| ·热处理温度对薄膜晶体结构的影响 | 第40-43页 |
| ·掺铝氧化锌薄膜的SEM分析 | 第43-45页 |
| ·掺铝氧化锌薄膜的光学性能 | 第45-49页 |
| ·掺杂浓度对薄膜透光性能的影响 | 第46-47页 |
| ·热处理温度对薄膜透光性能的影响 | 第47-48页 |
| ·薄膜层数对薄膜透光性能的影响 | 第48-49页 |
| ·掺铝氧化锌薄膜的电学性能 | 第49-56页 |
| ·掺杂浓度对薄膜电学性能的影响 | 第50-52页 |
| ·热处理温度对薄膜电学性能的影响 | 第52-53页 |
| ·薄膜层数对薄膜电学性能的影响 | 第53-56页 |
| 第四章 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 硕士期间发表及待发表的论文 | 第63页 |