| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-18页 |
| 1.1 课题背景与意义 | 第7-8页 |
| 1.2 MEMS加速度传感器及其工艺制造 | 第8页 |
| 1.3 微机械开关技术发展 | 第8-16页 |
| 1.3.1 国内研究现状 | 第8-12页 |
| 1.3.2 国外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.4 现有MEMS惯性开关存在的特点 | 第16-17页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第17页 |
| 1.6 本章小结 | 第17-18页 |
| 2 MEMS接电开关的工作环境和设计要求 | 第18-24页 |
| 2.1 引信环境力简介 | 第18页 |
| 2.2 MEMS接电开关在引信环境下的受力情况 | 第18-22页 |
| 2.2.1 发射环境 | 第18-21页 |
| 2.2.2 勤务环境 | 第21-22页 |
| 2.3 开关设计要求 | 第22-23页 |
| 2.3.1 实现载荷区分功能 | 第22-23页 |
| 2.3.2 抗过载性能要求 | 第23页 |
| 2.3.3 接电性能要求 | 第23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 3 MEMS接电开关结构设计与分析 | 第24-58页 |
| 3.1 区分机构设计 | 第24-30页 |
| 3.1.1 带Z型齿的弹簧-质量-阻尼系统数学模型建立 | 第25-28页 |
| 3.1.2 区分机构结构设计 | 第28-30页 |
| 3.2 Z型齿对系统阻尼系数的影响 | 第30-44页 |
| 3.2.1 带Z型齿的弹簧-质量-阻尼系统的等效阻尼系数c分析 | 第30-38页 |
| 3.2.2 齿数比对系统阻尼的影响 | 第38-39页 |
| 3.2.3 齿高对系统阻尼的影响 | 第39页 |
| 3.2.4 齿形角对系统阻尼的影响 | 第39-40页 |
| 3.2.5 相对间隙对系统阻尼的影响 | 第40-41页 |
| 3.2.6 不同阻尼对载荷区分性的影响 | 第41-44页 |
| 3.3 闭锁机构设计 | 第44-51页 |
| 3.3.1 闭锁机构结构设计 | 第44-46页 |
| 3.3.2 闭锁机构结构参数分析 | 第46-51页 |
| 3.4 MEMS接电开关仿真分析 | 第51-57页 |
| 3.4.1 区分机构的仿真分析 | 第52-55页 |
| 3.4.2 开关整体仿真分析 | 第55-57页 |
| 3.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 4 闭锁开关电特性分析 | 第58-65页 |
| 4.1 MEMS器件的材料应用 | 第58-59页 |
| 4.2 闭锁机构接触电阻的分析 | 第59-64页 |
| 4.3 本章小结 | 第64-65页 |
| 5 MEMS接电开关的工艺模拟 | 第65-70页 |
| 5.1 LIGA及UV-LIGA工艺介绍 | 第65-66页 |
| 5.2 工艺模拟 | 第66-69页 |
| 5.3 本章小结 | 第69-70页 |
| 6 全文总结与展望 | 第70-72页 |
| 6.1 总结 | 第70-71页 |
| 6.2 创新点 | 第71页 |
| 6.3 展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 附录 | 第76页 |