| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第8-9页 |
| 1.2 MEMS扫描微镜光谱仪的嵌入式系统国内外研究现状 | 第9-10页 |
| 1.3 研究内容 | 第10-11页 |
| 1.4 本文结构与章节 | 第11-12页 |
| 1.5 本章小结 | 第12-13页 |
| 第二章 MEMS扫描微镜光谱仪的嵌入式系统整体分析 | 第13-21页 |
| 2.1 MEMS扫描微镜光谱仪的运行机理及结构 | 第13-16页 |
| 2.1.1 光学系统 | 第13-14页 |
| 2.1.2 50 Hz扫描微镜光谱仪的嵌入式系统 | 第14-15页 |
| 2.1.3 50 Hz与500Hz扫描微镜 | 第15-16页 |
| 2.2 不同谐振频率的MEMS扫描微镜光谱仪的嵌入式系统参数分析 | 第16-17页 |
| 2.2.1 50 Hz扫描微镜光谱仪的嵌入式系统参数分析 | 第16页 |
| 2.2.2 500 Hz扫描微镜光谱仪的嵌入式系统参数分析 | 第16-17页 |
| 2.3 500 Hz扫描微镜光谱仪的嵌入式系统分析及处理器选型 | 第17-20页 |
| 2.3.1 嵌入式核心处理器1选型 | 第18-19页 |
| 2.3.2 嵌入式核心处理器2选型 | 第19-20页 |
| 2.4 本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 500Hz扫描微镜光谱仪的嵌入式电路设计与测试 | 第21-55页 |
| 3.1 500 Hz扫描微镜光谱仪的嵌入式电路分析 | 第21-22页 |
| 3.2 BA0050驱动模块的设计与测试 | 第22-32页 |
| 3.2.1 直流升压电路 | 第24-25页 |
| 3.2.2 倍压整流电路分析与仿真 | 第25-29页 |
| 3.2.3 PWM信号放大电路分析与仿真 | 第29-30页 |
| 3.2.4 MEMS扫描微镜驱动模块测试 | 第30-32页 |
| 3.3 InGaAs探测器光电转换与放大模块分析与设计 | 第32-47页 |
| 3.3.1 InGaAs探测器 | 第32-33页 |
| 3.3.2 前置放大电路分析与仿真 | 第33-38页 |
| 3.3.3 反向比例放大电路分析与仿真 | 第38-40页 |
| 3.3.4 二阶巴特沃斯滤波电路分析与仿真 | 第40-43页 |
| 3.3.5 InGaAs探测器光电转换与放大模块测试 | 第43-47页 |
| 3.4 InGaAs探测器温度采集与控制模块分析与设计 | 第47-54页 |
| 3.4.1 InGaAs探测器温控系统数字模型 | 第48-49页 |
| 3.4.2 深度负反馈闭环模拟温控电路 | 第49-51页 |
| 3.4.3 InGaAs探测器各参数的拟合函数曲线 | 第51-52页 |
| 3.4.4 InGaAs探测器温度采集与控制模块测试 | 第52-54页 |
| 3.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 基于FPGA的光谱仪数据采集模块的设计与实现 | 第55-72页 |
| 4.1 基于FPGA技术的光谱仪数据采集方案 | 第55-56页 |
| 4.2 A/D芯片与双端口RAM芯片选型 | 第56-57页 |
| 4.2.1 A/D芯片选型 | 第56-57页 |
| 4.2.2 双端口RAM芯片选型 | 第57页 |
| 4.3 信号调理电路设计 | 第57-59页 |
| 4.4 A/D转换电路设计 | 第59-61页 |
| 4.5 数据存储电路设计 | 第61-63页 |
| 4.6 基于FPGA的数据采集模块仿真与测试 | 第63-71页 |
| 4.6.1 A/D转换电路时序仿真与测试 | 第63-65页 |
| 4.6.2 数据存储电路程序设计与测试 | 第65-68页 |
| 4.6.3 数据采集模块测试 | 第68-71页 |
| 4.7 本章小结 | 第71-72页 |
| 第五章 结论与展望 | 第72-74页 |
| 5.1 结论 | 第72-73页 |
| 5.2 展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第78-79页 |
