二次电子发射效应对容性耦合等离子体的影响：混合模型模拟
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 低温等离子体及其应用 | 第9-10页 |
| 1.2 低温容性耦合等离子体源简介 | 第10-14页 |
| 1.3 二次电子的作用 | 第14-15页 |
| 1.4 CCP放电模拟现状 | 第15-16页 |
| 1.5 本文的内容与安排 | 第16-17页 |
| 2 电子蒙特卡洛流体一维混合模型算法介绍 | 第17-34页 |
| 2.1 混合模型引言 | 第17页 |
| 2.2 流体模型介绍 | 第17-21页 |
| 2.2.1 流体基本方程 | 第17-20页 |
| 2.2.2 流体数值计算方法 | 第20-21页 |
| 2.2.3 边界条件及其数值处理 | 第21页 |
| 2.3 电子蒙特卡洛(eMCS)模块介绍 | 第21-28页 |
| 2.3.1 引言 | 第21-22页 |
| 2.3.2 电子追踪介绍 | 第22-26页 |
| 2.3.3 蒙特卡洛统计介绍 | 第26-27页 |
| 2.3.4 二次电子模拟介绍 | 第27-28页 |
| 2.4 混合模型算法简单验证 | 第28-34页 |
| 2.4.1 气压对放电的影响 | 第28-31页 |
| 2.4.2 电压对放电的影响 | 第31-34页 |
| 3 单频放电下二次电子的影响 | 第34-42页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 不同气压、射频电压下二次电子的影响 | 第34-39页 |
| 3.2.1 气压的影响 | 第34-37页 |
| 3.2.2 电压的影响 | 第37-39页 |
| 3.3 极板间距的影响 | 第39-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 直流/双频放电二次电子的影响 | 第42-49页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 不同直流电压下二次电子的影响 | 第42-45页 |
| 4.3 双频放电中不同低频电压下二次电子的影响 | 第45-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-55页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
