| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| 1.1 微机电系统的发展与应用 | 第12-14页 |
| 1.2 应用于微机电系统的材料 | 第14-15页 |
| 1.3 工程陶瓷的微细加工技术 | 第15-17页 |
| 1.3.1 超声加工 | 第15-16页 |
| 1.3.2 磨料水射流加工 | 第16页 |
| 1.3.3 引弧微爆加工 | 第16页 |
| 1.3.4 电化学放电加工 | 第16-17页 |
| 1.3.5 激光加工 | 第17页 |
| 1.4 电化学放电加工的研究现状 | 第17-19页 |
| 1.4.1 国外研究现状 | 第17-19页 |
| 1.4.2 国内研究现状 | 第19页 |
| 1.5 超短脉冲激光加工研究现状 | 第19-21页 |
| 1.6 课题来源和研究内容 | 第21-23页 |
| 1.6.1 课题来源 | 第21-22页 |
| 1.6.2 研究内容 | 第22-23页 |
| 第二章 电化学放电复合磨削加工工程陶瓷的机理研究 | 第23-36页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 电化学放电加工的原理 | 第23-24页 |
| 2.3 工具电极表面气层的形成机理 | 第24-31页 |
| 2.3.1 生成气泡 | 第24-26页 |
| 2.3.2 气泡溢出 | 第26-27页 |
| 2.3.3 形成稳定的气层 | 第27-28页 |
| 2.3.4 电化学放电加工的材料去除机理 | 第28-31页 |
| 2.4 金刚石磨粒磨针加工工程陶瓷的原理 | 第31-32页 |
| 2.5 电化学放电复合磨削加工工程陶瓷的原理 | 第32-35页 |
| 2.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 电化学放电复合磨削的微孔加工 | 第36-49页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 电化学放电复合磨削微孔加工过程 | 第36-40页 |
| 3.3 试验装置与设计 | 第40-43页 |
| 3.3.1 试验装置 | 第40-41页 |
| 3.3.2 试验设计 | 第41-43页 |
| 3.4 试验结果与分析 | 第43-48页 |
| 3.4.1 脉冲电压对微孔加工的影响 | 第43-45页 |
| 3.4.2 加工频率对加工效果的影响 | 第45-47页 |
| 3.4.3 加工实例 | 第47-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 皮秒激光的微孔加工 | 第49-71页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 激光打微孔的工艺方法 | 第49-50页 |
| 4.3 皮秒激光加工工程陶瓷的理论基础分析 | 第50-52页 |
| 4.4 皮秒激光加工系统试验设备和设计 | 第52-58页 |
| 4.4.1 皮秒激光加工系统试验设备 | 第52-55页 |
| 4.4.2 试验设计 | 第55-56页 |
| 4.4.3 95%氧化铝陶瓷热蚀损伤阈值的测定 | 第56-58页 |
| 4.5 试验结果与讨论 | 第58-69页 |
| 4.5.1 加工路径对加工效果的影响 | 第58-59页 |
| 4.5.2 激光输出功率对加工效果的影响 | 第59-61页 |
| 4.5.3 激光重复频率对加工效果的影响 | 第61-64页 |
| 4.5.4 扫描速度对加工效果的影响 | 第64-66页 |
| 4.5.5 扫描次数对加工效果的影响 | 第66-67页 |
| 4.5.6 加工实例 | 第67-68页 |
| 4.5.7 电化学放电复合磨削与皮秒激光微孔加工效果对比 | 第68-69页 |
| 4.6 本章小结 | 第69-71页 |
| 第五章 基于BP神经网络和遗传算法的皮秒激光工艺参数优化 | 第71-83页 |
| 5.1 引言 | 第71页 |
| 5.2 BP神经网络的工作原理 | 第71-72页 |
| 5.3 遗传算法的基本原理 | 第72页 |
| 5.4 BP神经网络和遗传算法的结合应用 | 第72-73页 |
| 5.5 基于BP神经网络和遗传算法的皮秒激光加工孔径优化 | 第73-81页 |
| 5.5.1 BP神经网络建模 | 第73-80页 |
| 5.5.2 遗传算法寻找最优工艺参数 | 第80-81页 |
| 5.6 本章小结 | 第81-83页 |
| 第六章 总结和展望 | 第83-87页 |
| 6.1 论文总结 | 第83-85页 |
| 6.2 展望 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-95页 |
| 致谢 | 第95-96页 |
| 攻读硕士学位期间的学术成果 | 第96页 |
