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YBCO超导叠层膜的光辅助MOCVD生长研究

摘要第4-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第11-24页
    1.1 超导材料发展历史第11-13页
    1.2 超导体主要性质第13-16页
        1.2.1 零电阻效应第13页
        1.2.2 迈斯纳效应第13-14页
        1.2.3 超导体分类第14-16页
    1.3 高温超导材料YBCO的性质第16-17页
    1.4 YBCO的主要应用第17-18页
        1.4.1 YBCO强电领域应用第17-18页
        1.4.2 YBCO弱电领域应用第18页
    1.5 YBCO超导薄膜的制备技术第18-22页
    1.6 论文选题意义及主要内容第22-24页
第二章 光辅助MOCVD技术及YBCO薄膜表征手段第24-35页
    2.1 光辅助金属有机物化学气相沉积(MOCVD)技术第24-28页
        2.1.1 MOCVD技术简介第24-25页
        2.1.2 光辅助MOCVD生长技术第25-28页
    2.2 光辅助MOCVD技术制备YBCO薄膜第28-31页
        2.2.1 金属有机源选择第28页
        2.2.2 衬底选择第28-29页
        2.2.3 制备YBCO超导膜的实验流程第29-31页
    2.3 YBCO超导薄膜表征技术第31-35页
        2.3.1 X射线衍射(XRD)分析第31-32页
        2.3.2 原子力显微镜(AFM)分析第32-33页
        2.3.3 扫描电子显微镜(SEM)分析第33-34页
        2.3.4 电学性能分析第34-35页
第三章 BA源温度对YBCO外延膜的影响第35-45页
    3.1 研究背景第35-36页
    3.2 YBCO“贫钡”现象及其分析第36-40页
    3.3 BA源温度对YBCO薄膜的影响第40-45页
        3.3.1 实验设计第40页
        3.3.2 Ba源温度对YBCO薄膜结晶质量的影响第40-43页
        3.3.3 Ba源温度对YBCO薄膜表面的影响第43-45页
第四章 YBCO/Y_2O_3/YBCO叠层膜的MOCVD生长研究第45-56页
    4.1 研究背景第45-46页
    4.2 Y_2O_3纳米点过渡层生长研究第46-49页
        4.2.1 实验条件第46页
        4.2.2 生长时间对Y_2O_3纳米点过渡层尺寸及密度的影响第46-49页
    4.3 YBCO叠层膜生长实验设计第49-50页
    4.4 YBCO/Y_2O_3/YBCO叠层膜的性质及表征第50-56页
        4.4.1 Y_2O_3纳米点生长时间对薄膜结构的影响第50-52页
        4.4.2 Y_2O_3纳米点生长时间对薄膜形貌的影响第52-54页
        4.4.3 Y_2O_3纳米点生长时间对薄膜临界电流密度的影响第54-56页
第五章 结论第56-58页
参考文献第58-64页
作者简介及研究生期间科研成果第64-65页
致谢第65页

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