| 中文摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 综述 | 第10-22页 |
| 1.1 前言 | 第10-11页 |
| 1.2 磁电阻效应 | 第11-14页 |
| 1.2.1 磁电阻效应的分类及其应用 | 第11-12页 |
| 1.2.2 隧穿磁电阻效应及其应用 | 第12-13页 |
| 1.2.3 磁性隧道结及其应用 | 第13-14页 |
| 1.3 线性磁电阻效应传感器 | 第14-20页 |
| 1.3.1 基于偏置场的线性磁电阻传感器 | 第16页 |
| 1.3.2 基于交换偏置的线性磁电阻传感器 | 第16-18页 |
| 1.3.3 基于高垂直各向异性参考层的线性磁电阻传感器 | 第18-20页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容 | 第20-22页 |
| 1.4.1 L1_0-FePt薄膜的制备与优化 | 第20页 |
| 1.4.2 线性磁电阻传感器的制备与研究 | 第20-22页 |
| 2 薄膜样品的制备与表征 | 第22-28页 |
| 2.1 前言 | 第22页 |
| 2.2 薄膜样品的制备 | 第22-24页 |
| 2.2.1 靶材 | 第22页 |
| 2.2.2 薄膜制备 | 第22-24页 |
| 2.3 薄膜样品的表征设备 | 第24-28页 |
| 2.3.1 薄膜厚度测试 | 第24-25页 |
| 2.3.2 X射线衍射仪(XRD) | 第25页 |
| 2.3.3 扫描电子显微镜(SEM) | 第25-26页 |
| 2.3.4 透射电子显微镜(TEM) | 第26页 |
| 2.3.5 超导量子干涉仪(SQUID) | 第26-27页 |
| 2.3.6 综合物性测量系统(PPMS) | 第27-28页 |
| 3 L1_0-FePt薄膜的制备与优化 | 第28-40页 |
| 3.1 前言 | 第28-29页 |
| 3.2 实验制备 | 第29页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第29-39页 |
| 3.3.1 沉积速率对L1_0-FePt薄膜的结构和磁性的影响 | 第29-31页 |
| 3.3.2 退火时间对L1_0-FePt薄膜的结构和磁性的影响 | 第31-34页 |
| 3.3.3 衬底温度对L1_0-FePt薄膜的结构和磁性的影响 | 第34-36页 |
| 3.3.4 沉积压强对L1_0-FePt薄膜的结构和磁性的影响 | 第36-37页 |
| 3.3.5 MgO衬底L1_0-FePt薄膜的优化 | 第37-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 STO/L1_0-FePt/ZnO/FePt磁性多层膜磁电阻效应及线性响应 | 第40-46页 |
| 4.1 前言 | 第40页 |
| 4.2 实验制备 | 第40-41页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第41-44页 |
| 4.3.1 STO/L1_0-FePt/ZnO/FePt磁性多层膜结构分析 | 第41-42页 |
| 4.3.2 STO/L1_0-FePt/ZnO/FePt磁性多层膜磁电阻分析 | 第42-44页 |
| 4.4 本章结论 | 第44-46页 |
| 5 MgO/Pt/L1_0-FePt/ZnO/Fe磁性多层膜磁电阻效应和线性响应传感器研究 | 第46-52页 |
| 5.1 前言 | 第46页 |
| 5.2 实验制备 | 第46-47页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第47-51页 |
| 5.3.1 MgO/Pt/L1_0-FePt/ZnO/Fe磁性多层膜结构分析 | 第47-48页 |
| 5.3.2 MgO/Pt/L1_0-FePt/ZnO/Fe磁性多层膜磁性分析 | 第48-49页 |
| 5.3.3 MgO/Pt/L1_0-FePt/ZnO/Fe磁性多层膜磁电阻分析 | 第49-51页 |
| 5.4 本章结论 | 第51-52页 |
| 6 结论 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-60页 |
| 在学期间的研究成果 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
