| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 钛合金概述 | 第10-11页 |
| 1.2 类金刚石薄膜概述 | 第11-15页 |
| 1.2.1 DLC薄膜的结构 | 第11页 |
| 1.2.2 DLC薄膜的制备 | 第11-13页 |
| 1.2.3 DLC薄膜的性能表征 | 第13-15页 |
| 1.3 DLC薄膜承载性研究进展 | 第15-20页 |
| 1.3.1 DLC薄膜承载特性 | 第15-19页 |
| 1.3.2 薄膜承载能力表征及模拟 | 第19-20页 |
| 1.4 论文研究意义及研究内容 | 第20-24页 |
| 2 单层DLC薄膜制备、结构及性能 | 第24-48页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 过渡层对DLC薄膜结构和性能的影响 | 第24-29页 |
| 2.2.1 不同过渡层DLC薄膜的制备 | 第24-25页 |
| 2.2.2 不同过渡层DLC薄膜的结构 | 第25-26页 |
| 2.2.3 不同过渡层DLC薄膜的力学性能 | 第26-28页 |
| 2.2.4 不同过渡层DLC薄膜的摩擦学性能 | 第28-29页 |
| 2.3 反应磁控溅射参数对DLC薄膜结构和性能的影响 | 第29-47页 |
| 2.3.1 基底偏压对DLC薄膜结构和性能的影响 | 第29-35页 |
| 2.3.2 沉积气压对DLC薄膜结构和性能的影响 | 第35-39页 |
| 2.3.3 甲烷流量对DLC薄膜结构和性能的影响 | 第39-43页 |
| 2.3.4 溅射功率对DLC薄膜结构和性能的影响 | 第43-47页 |
| 2.4 小结 | 第47-48页 |
| 3 多层DLC薄膜承载能力有限元模拟研究 | 第48-64页 |
| 3.1 引言 | 第48-49页 |
| 3.2 有限元模拟模型的建立 | 第49-50页 |
| 3.3 不同膜层顺序双层DLC薄膜承载能力有限元模拟 | 第50-55页 |
| 3.3.1 不同膜层顺序双层DLC薄膜应力分布 | 第50-52页 |
| 3.3.2 不同膜层顺序双层DLC薄膜拉应力集中位置 | 第52-53页 |
| 3.3.3 不同膜层顺序双层DLC薄膜弹/塑性应变 | 第53-55页 |
| 3.4 不同调制周期多层DLC薄膜承载能力有限元模拟 | 第55-58页 |
| 3.4.1 不同调制周期多层DLC薄膜应力分布 | 第55-56页 |
| 3.4.2 不同调制周期多层DLC薄膜拉应力集中位置 | 第56-57页 |
| 3.4.3 不同调制周期多层DLC薄膜弹/塑性应变 | 第57-58页 |
| 3.5 不同调制比例多层DLC薄膜承载能力有限元模拟 | 第58-61页 |
| 3.5.1 不同调制比例多层DLC薄膜应力分布 | 第58-59页 |
| 3.5.2 不同调制比例多层DLC薄膜拉应力集中位置 | 第59-60页 |
| 3.5.3 不同调制比例多层DLC薄膜弹/塑性应变 | 第60-61页 |
| 3.6 小结 | 第61-64页 |
| 4 多层DLC薄膜制备及承载能力实验研究 | 第64-76页 |
| 4.1 引言 | 第64页 |
| 4.2 不同膜层顺序双层DLC薄膜制备及承载能力 | 第64-68页 |
| 4.2.1 不同膜层顺序双层DLC薄膜的制备 | 第64-66页 |
| 4.2.2 不同膜层顺序双层DLC薄膜的力学性能 | 第66-67页 |
| 4.2.3 不同膜层顺序双层DLC薄膜的摩擦学性能 | 第67-68页 |
| 4.3 不同调制周期多层DLC薄膜制备及承载能力 | 第68-72页 |
| 4.3.1 不同调制周期多层DLC薄膜的制备 | 第68-69页 |
| 4.3.2 不同调制周期多层DLC薄膜的力学性能 | 第69-70页 |
| 4.3.3 不同调制周期多层DLC薄膜的摩擦学性能 | 第70-72页 |
| 4.4 不同调制比例多层DLC薄膜制备及承载能力 | 第72-75页 |
| 4.4.1 不同调制比例多层DLC薄膜的制备 | 第72-73页 |
| 4.4.2 不同调制比例多层DLC薄膜的力学性能 | 第73-74页 |
| 4.4.3 不同调制比例多层DLC薄膜的摩擦学性能 | 第74-75页 |
| 4.5 小结 | 第75-76页 |
| 5 总结与展望 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-88页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果 | 第88页 |
