酸性蚀刻液电化学再生回用技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-32页 |
| ·引言 | 第11-13页 |
| ·酸性蚀刻废液的综合回收技术 | 第13-22页 |
| ·制备金属铜 | 第13-16页 |
| ·还原法 | 第13-14页 |
| ·直接电解法 | 第14-15页 |
| ·萃取电解法 | 第15-16页 |
| ·制备硫酸铜 | 第16-18页 |
| ·中和沉淀法 | 第16-17页 |
| ·碱化法 | 第17页 |
| ·酸化法 | 第17-18页 |
| ·制备氯化亚铜 | 第18-19页 |
| ·制备氧化铜 | 第19-20页 |
| ·制备氧化亚铜 | 第20页 |
| ·制备碱式氯化铜 | 第20-21页 |
| ·制备碱式碳酸铜 | 第21页 |
| ·其它 | 第21-22页 |
| ·酸性蚀刻液的循环再生 | 第22-29页 |
| ·化学法再生 | 第22-24页 |
| ·空气或氧气再生 | 第22页 |
| ·臭氧再生 | 第22-23页 |
| ·氯气再生 | 第23页 |
| ·次氯酸钠再生 | 第23页 |
| ·双氧水再生 | 第23页 |
| ·氯酸钠再生 | 第23-24页 |
| ·电化学法再生 | 第24-29页 |
| ·常规电解法 | 第24-25页 |
| ·萃取电解法 | 第25-26页 |
| ·离子膜电解法 | 第26-28页 |
| ·阳离子交换膜电解法 | 第26-28页 |
| ·阴离子交换膜电解法 | 第28页 |
| ·隔膜电解法 | 第28-29页 |
| ·本课题研究的目的和主要内容 | 第29-32页 |
| ·本课题研究的目的 | 第29页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第29-32页 |
| 第二章 实验 | 第32-40页 |
| ·实验试剂 | 第32页 |
| ·实验仪器 | 第32-33页 |
| ·实验溶液 | 第33页 |
| ·用于ORP测量的溶液 | 第33页 |
| ·电化学测试溶液 | 第33页 |
| ·电解溶液 | 第33页 |
| ·实验方法 | 第33-40页 |
| ·ORP的测量 | 第33-34页 |
| ·pH/ORP计测量 | 第34页 |
| ·电化学工作站测量 | 第34页 |
| ·蚀刻速度的测量 | 第34页 |
| ·电化学测试 | 第34-36页 |
| ·电极 | 第34-35页 |
| ·实验装置 | 第35页 |
| ·极化曲线的测量 | 第35-36页 |
| ·阳极再生过程 | 第36-37页 |
| ·阴极提铜过程 | 第37-40页 |
| ·同槽电解 | 第37-38页 |
| ·隔膜电解 | 第38-40页 |
| 第三章 酸性蚀刻液的性质研究 | 第40-51页 |
| ·ORP的测量 | 第40-47页 |
| ·ORP值的响应时间 | 第40页 |
| ·两种不同测量方法的比较 | 第40-42页 |
| ·总铜浓度对溶液ORP的影响 | 第42-44页 |
| ·Cu~+浓度对溶液ORP的影响 | 第44-45页 |
| ·测量温度对溶液ORP的影响 | 第45-46页 |
| ·蚀刻速度与溶液ORP | 第46-47页 |
| ·酸性蚀刻液在DSA上氧化再生的动力学规律 | 第47-49页 |
| ·酸性蚀刻液在DSA上阳极极化曲线 | 第47-48页 |
| ·Cu~+浓度对阳极极限电流密度的影响 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第四章 酸性蚀刻液的电解 | 第51-62页 |
| ·阳极氧化再生过程 | 第51-54页 |
| ·阳极氧化再生实验 | 第51-53页 |
| ·再生液蚀刻性能测试 | 第53-54页 |
| ·阴极还原提铜过程 | 第54-59页 |
| ·同槽电解 | 第54-56页 |
| ·隔膜电解 | 第56-58页 |
| ·不同电解方式提铜的比较 | 第58-59页 |
| ·阴离子交换膜对铜离子的选择 | 第59-61页 |
| ·电解实验 | 第59-60页 |
| ·电解后溶液组成 | 第60-61页 |
| ·再生液蚀刻性能 | 第61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
| ·总结 | 第62页 |
| ·展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-72页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 附件 | 第74页 |
