| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 专用术语注释表 | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 引言 | 第10-12页 |
| 1.2 通信网络中的光子集成 | 第12-14页 |
| 1.3 基于氮化镓材料的光子集成器件 | 第14-16页 |
| 1.4 本文主要工作内容 | 第16-17页 |
| 1.5 本文结构安排 | 第17-18页 |
| 第二章 介质光波导的分析方法 | 第18-28页 |
| 2.1 概述 | 第18-19页 |
| 2.2 介质光波导的理论分析方法 | 第19-23页 |
| 2.2.1 模式分析方法 | 第19-20页 |
| 2.2.2 数值求解方法 | 第20-23页 |
| 2.3 介质光波导的仿真方法 | 第23-26页 |
| 2.3.1 RSoft仿真平台简介 | 第23页 |
| 2.3.2 介质光波导的建模与仿真 | 第23-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-28页 |
| 第三章 氮化镓量子阱光波导集成器件的设计与制备 | 第28-39页 |
| 3.1 概述 | 第28页 |
| 3.2 氮化镓量子阱光波导集成器件的设计 | 第28-33页 |
| 3.2.1 材料选择 | 第28-30页 |
| 3.2.2 光波导器件的结构设计 | 第30-32页 |
| 3.2.3 光波导器件的模式分析 | 第32-33页 |
| 3.2.4 氮化镓量子阱光波导集成器件 | 第33页 |
| 3.3 氮化镓量子阱光波导集成器件的加工 | 第33-37页 |
| 3.3.1 加工设备与工艺 | 第33-35页 |
| 3.3.2 工艺流程 | 第35-37页 |
| 3.4 器件形貌结构分析 | 第37-38页 |
| 3.5 本章小节 | 第38-39页 |
| 第四章 氮化镓量子阱光波导集成器件的测试与分析 | 第39-48页 |
| 4.1 概述 | 第39页 |
| 4.2 悬空InGaN/Ga N多量子阱的光电测试 | 第39-43页 |
| 4.2.1 测试系统介绍 | 第39-40页 |
| 4.2.2 LED器件电致发光（EL）分析 | 第40页 |
| 4.2.3 LED的光电探测功能 | 第40-43页 |
| 4.3 集成器件的通信性能分析 | 第43-46页 |
| 4.3.1 测试系统介绍 | 第43页 |
| 4.3.2 量子阱光波导集成器件的双工通信测试 | 第43-45页 |
| 4.3.3 单片集成的通信系统性能分析 | 第45-46页 |
| 4.4 本章小结 | 第46-48页 |
| 第五章 总结与展望 | 第48-50页 |
| 5.1 论文工作总结 | 第48-49页 |
| 5.2 未来工作展望 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第53-54页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第54-55页 |
| 附录3 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56页 |