| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第14-28页 |
| 1.1 课题的背景及意义 | 第14-16页 |
| 1.1.1 课题的背景 | 第14-15页 |
| 1.1.2 课题的研究意义 | 第15-16页 |
| 1.2 快刀伺服器研究现状 | 第16-25页 |
| 1.2.1 快刀伺服器的结构类型 | 第16-20页 |
| 1.2.2 快刀伺服器建模分析技术 | 第20-22页 |
| 1.2.3 快刀伺服器的控制与补偿技术 | 第22-25页 |
| 1.2.4 综述总结与问题提出 | 第25页 |
| 1.3 课题的来源和主要研究内容 | 第25-28页 |
| 1.3.1 课题的来源 | 第25页 |
| 1.3.2 主要研究内容 | 第25-28页 |
| 第二章 桥式柔性铰链的快刀伺服器结构设计 | 第28-49页 |
| 2.1 桥式柔性铰链的快刀伺服器结构模型 | 第28-33页 |
| 2.1.1 桥式柔性铰链的放大结构 | 第28-30页 |
| 2.1.2 快刀伺服器的整体结构 | 第30-33页 |
| 2.2 桥式柔性铰链的运动学方程 | 第33-39页 |
| 2.2.1 单元运动微分方程 | 第33-37页 |
| 2.2.2 等效结构运动学分析 | 第37-39页 |
| 2.3 快刀伺服器的多体动力学方程 | 第39-46页 |
| 2.3.1 快刀伺服器的刚性动力学方程 | 第39-40页 |
| 2.3.2 快刀伺服器的动力学总体方程 | 第40-46页 |
| 2.4 桥式柔性铰链的动态设计 | 第46-48页 |
| 2.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第三章 结构参数对快刀伺服器动态性能的影响 | 第49-62页 |
| 3.1 铰链几何尺寸对结构刚度的影响 | 第49-56页 |
| 3.1.1 铰链的材料及结构形式对刚度模型的关联程度 | 第49-52页 |
| 3.1.2 宽度对刚度模型的影响 | 第52-54页 |
| 3.1.3 厚度对刚度模型的影响 | 第54-56页 |
| 3.2 快刀伺服器关键参数与结构固有频率的关系 | 第56-61页 |
| 3.2.1 桥式柔性铰链固有频率的变化规律 | 第56-59页 |
| 3.2.2 快刀伺服器动态特性仿真 | 第59-61页 |
| 3.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 快刀伺服器的控制策略 | 第62-77页 |
| 4.1 实测的非线性修正模型 | 第62-67页 |
| 4.1.1 压电陶瓷驱动器的性能 | 第62-64页 |
| 4.1.2 基于ECNLP的迟滞非线性模型 | 第64-66页 |
| 4.1.3 压电陶瓷驱动快刀伺服器的动态模型 | 第66-67页 |
| 4.2 压电陶瓷的迟滞性控制策略 | 第67-76页 |
| 4.2.1 基于PID控制算法的迟滞性控制策略 | 第67-68页 |
| 4.2.2 基于Preisach模型的迟滞性控制策略 | 第68-72页 |
| 4.2.3 仿真实验和结果分析 | 第72-76页 |
| 4.3 本章小结 | 第76-77页 |
| 第五章 多源误差建模及补偿技术 | 第77-86页 |
| 5.1 桥式柔性铰链的几何误差建模 | 第77-79页 |
| 5.1.1 角度误差对位移的影响 | 第77-78页 |
| 5.1.2 宽度和厚度误差对位移的影响 | 第78-79页 |
| 5.1.3 长度误差对位移的影响 | 第79页 |
| 5.2 快刀伺服系统的热误差模型 | 第79-81页 |
| 5.2.1 桥式柔性铰链热应力模型 | 第79-80页 |
| 5.2.2 环境温度与位移的变化规律 | 第80-81页 |
| 5.3 快刀伺服器补偿策略研究 | 第81-84页 |
| 5.3.1 压电迟滞非线性的前置补偿策略 | 第81-83页 |
| 5.3.2 快刀伺服器误差控制与补偿策略 | 第83-84页 |
| 5.4 小结 | 第84-86页 |
| 第六章 快刀伺服器实验平台研究 | 第86-115页 |
| 6.1 快刀伺服器的构成及测试方案 | 第86-90页 |
| 6.1.1 实验平台的设计和搭建 | 第86-87页 |
| 6.1.2 快刀伺服器测试平台 | 第87-90页 |
| 6.2 快刀伺服器控制实验 | 第90-100页 |
| 6.2.1 快刀伺服器的动态特性实验 | 第90-93页 |
| 6.2.2 误差补偿实验方案的设计 | 第93-96页 |
| 6.2.3 补偿前后实验数据对比分析 | 第96-99页 |
| 6.2.4 误差补偿的显性结论 | 第99-100页 |
| 6.3 微阵列结构切削实验 | 第100-113页 |
| 6.3.1 周向单个微阵列结构加工 | 第100-106页 |
| 6.3.2 周向和径向多微阵列结构加工 | 第106-111页 |
| 6.3.3 周向均分三微阵列结构加工 | 第111-113页 |
| 6.4 本章小结 | 第113-115页 |
| 总结与展望 | 第115-118页 |
| 参考文献 | 第118-128页 |
| 攻读学位期间发表论文 | 第128-131页 |
| 致谢 | 第131页 |