新型一体式石英振梁加速度计研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 研究背景及概述 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 论文研究内容 | 第15-16页 |
| 1.4 本章小结 | 第16-17页 |
| 第二章 QVBA的理论基础 | 第17-29页 |
| 2.1 QVBA的特性介绍 | 第17-23页 |
| 2.1.1 压电特性 | 第17-19页 |
| 2.1.2 弹性性质 | 第19-20页 |
| 2.1.3 振动模式及切型 | 第20-23页 |
| 2.2 QVBA的工作原理 | 第23-24页 |
| 2.3 QVBA等效电路 | 第24-25页 |
| 2.4 QVBA技术指标 | 第25-26页 |
| 2.5 新型QVBA的理论分析 | 第26-28页 |
| 2.6 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 敏感元件的设计及制作 | 第29-49页 |
| 3.1 有限元介绍及分析 | 第29-30页 |
| 3.1.1 有限元相关知识的介绍 | 第29页 |
| 3.1.2 ANSYS软件的介绍 | 第29-30页 |
| 3.2 结构设计及仿真分析 | 第30-39页 |
| 3.2.1 切型的合理选择 | 第30-31页 |
| 3.2.2 振梁结构的设计及仿真 | 第31-34页 |
| 3.2.3 挠性铰链结构的设计及仿真 | 第34-35页 |
| 3.2.4 隔离框结构的设计及仿真 | 第35-37页 |
| 3.2.5 整体结构的设计及仿真分析 | 第37-39页 |
| 3.3 电极分析与设计 | 第39-43页 |
| 3.4 加工工艺设计 | 第43-46页 |
| 3.5 封装设计 | 第46-47页 |
| 3.6 本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 敏感元件的性能测试及分析 | 第49-55页 |
| 4.1 敏感元件的谐振特性测试 | 第49-50页 |
| 4.2 封装后元件的谐振特性测试 | 第50-52页 |
| 4.3 封装后元件的静态特性测试 | 第52-53页 |
| 4.4 实验结果分析及讨论 | 第53-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 QVBA的电路设计及仿真分析 | 第55-65页 |
| 5.1 石英谐振器的振荡原理 | 第55-56页 |
| 5.2 石英谐振器的振荡电路研究 | 第56-58页 |
| 5.2.1 并联型振荡电路的研究 | 第56-57页 |
| 5.2.2 串联型振荡电路的研究 | 第57-58页 |
| 5.3 振荡电路的选择 | 第58页 |
| 5.4 谐振电路方案的设计 | 第58-60页 |
| 5.5 基于OrCAD的谐振电路仿真 | 第60-63页 |
| 5.6 本章小结 | 第63-65页 |
| 第六章 新型QVBA系统的性能测试 | 第65-69页 |
| 6.1 标度因数、标度因数稳定性及重复性的测试 | 第65-67页 |
| 6.2 1g稳定性的测试 | 第67-68页 |
| 6.3 偏值稳定性的测试 | 第68页 |
| 6.4 本章小结 | 第68-69页 |
| 第七章 研究内容总结及展望 | 第69-73页 |
| 7.1 研究内容总结 | 第69页 |
| 7.2 工作展望 | 第69-73页 |
| 致谢 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-81页 |
| 作者简介 | 第81页 |
