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光学自由曲面子孔径拼接干涉检测技术

致谢第5-7页
摘要第7-9页
Abstract第9-10页
1 绪论第21-41页
    1.1 研究背景第21-22页
    1.2 光学自由曲面的数学表征第22-24页
        1.2.1 Zernike多项式表征第23-24页
        1.2.2 高斯径向基函数表征第24页
    1.3 光学自由曲面加工方法第24-29页
        1.3.1 切削第24-26页
        1.3.2 磨削第26-27页
        1.3.3 抛光第27-29页
    1.4 光学自由曲面检测研究现状第29-38页
        1.4.1 夏克-哈特曼波前探测法第29-30页
        1.4.2 相位测量偏折术第30-32页
        1.4.3 干涉测量法第32-38页
        1.4.4 小结第38页
    1.5 论文主要研究内容及创新点第38-41页
        1.5.1 论文研究内容第38-39页
        1.5.2 论文创新点第39-41页
2 自由曲面子孔径拼接干涉检测技术与系统第41-61页
    2.1 FSSI系统方案第41-44页
        2.1.1 FSSI系统原理第41-43页
        2.1.2 FSSI系统模型第43-44页
    2.2 非常规子孔径划分第44-48页
        2.2.1 子孔径划分方法第44-45页
        2.2.2 子孔径划分实例第45-47页
        2.2.3 实际子孔径划分步骤第47-48页
    2.3 非常规子孔径区域的正交多项式表征第48-57页
        2.3.1 Zemike多项式及其正交性第48-51页
        2.3.2 非圆域Zernike多项式正交化第51-54页
        2.3.3 子孔径Zernike多项式正交化实例第54-57页
    2.4 非常规子孔径正交多项式波面拟合第57-59页
        2.4.1 非常规子孔径正交多项式波面拟合方法第57-58页
        2.4.2 非常规子孔径波面拟合实例第58-59页
    2.5 本章小结第59-61页
3 FSSI系统中自由曲面定位匹配建模第61-79页
    3.1 自由曲面旋转匹配第61-64页
        3.1.1 自由曲面旋转匹配误差第61-62页
        3.1.2 自由曲面旋转匹配方法第62-64页
    3.2 自由曲面轴向定位匹配第64-66页
        3.2.1 单口径测量时的轴向定位第64-65页
        3.2.2 FSSI子孔径测量时的轴向定位第65-66页
    3.3 自由曲面非轴向位姿匹配第66-78页
        3.3.1 非轴向位姿匹配原理第66-69页
        3.3.2 子孔径与全口径位姿误差系数换算第69-73页
        3.3.3 全口径位姿误差计算第73-76页
        3.3.4 理论模型位姿修正第76-78页
    3.4 本章小结第78-79页
4 基于系统模型的自由曲面子孔径拼接算法第79-99页
    4.1 传统非球面子孔径拼接算法第79-83页
        4.1.1 基于Zernike多项式的全口径系数计算第80-82页
        4.1.2 基于重叠区的全局子孔径拼接算法第82-83页
    4.2 自由曲面子孔径拼接:多孔径同步逆向优化重构技术第83-88页
        4.2.1 MSROR算法基本原理模型第83-85页
        4.2.2 MSROR算法数学模型第85-88页
    4.3 MSROR算法计算机仿真第88-92页
        4.3.1 非球面环带子孔径拼接第88-90页
        4.3.2 轮胎面扇形子孔径拼接第90-92页
    4.4 MSROR算法误差分析第92-95页
        4.4.1 系统元件建模误差第92页
        4.4.2 随机噪声误差第92-93页
        4.4.3 子孔径分布误差第93-95页
    4.5 MSROR算法用于非球面顶点曲率半径测量第95-98页
        4.5.1 非球面VROC测量技术难点第95-96页
        4.5.2 MSROR算法进行非球面VROC测量第96-98页
        4.5.3 测量不确定度讨论第98页
    4.6 本章小结第98-99页
5 FSSI系统装配与误差标定第99-115页
    5.1 FSSI主要误差分析第99-100页
    5.2 不含PNL的FSSI系统误差标定第100-108页
        5.2.1 一次旋转法标定参考路误差原理第101-103页
        5.2.2 误差标定计算机仿真第103-104页
        5.2.3 一次旋转标定法误差分析第104-106页
        5.2.4 误差标定实验第106-108页
    5.3 含PNL的FSSI系统误差标定第108-114页
        5.3.1 误差标定原理第108-109页
        5.3.2 多位置逆向优化重构(MSROR)标定方法第109-111页
        5.3.3 误差标定实验:球面检测标定第111-114页
    5.4 本章小结第114-115页
6 FSSI系统检测实验第115-133页
    6.1 FSSI系统参数及验证实验设计第115-116页
    6.2 非球面顶点球曲率半径测量第116-118页
    6.3 非球面环形子孔径拼接检测实验第118-123页
        6.3.1 FSSI仿真系统环形子孔径划分第119-120页
        6.3.2 FSSI实验系统非球面轴向定位与子孔径划分第120页
        6.3.3 非球面位姿模型匹配第120-122页
        6.3.4 非球面环形子孔径拼接第122-123页
    6.4 双圆锥面扇形子孔径拼接检测实验第123-132页
        6.4.1 FSSI实验系统双圆锥面轴向定位第124-125页
        6.4.2 双圆锥面旋转匹配第125-126页
        6.4.3 FSSI系统双圆锥面子孔径划分第126-127页
        6.4.4 双圆锥面位姿模型匹配第127-128页
        6.4.5 MSROR算法拼接扇形子孔径第128-132页
    6.5 本章小结第132-133页
7 总结与展望第133-137页
    7.1 本文工作总结第133-135页
    7.2 创新点总结第135页
    7.3 未来工作展望第135-137页
参考文献第137-151页
作者简历及攻读博士期间主要研究成果第151-152页

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