| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-19页 |
| ·半导体薄膜材料 | 第8页 |
| ·ZnO的基本特性 | 第8-14页 |
| ·ZnO的结构 | 第9-10页 |
| ·ZnO的电学性能 | 第10-12页 |
| ·ZnO的光学性质 | 第12-14页 |
| ·ZnO的压电特性 | 第14页 |
| ·ZnO纳米薄膜的制备方法 | 第14-17页 |
| ·液相法 | 第15-16页 |
| ·气相传输法 | 第16-17页 |
| ·选题意义和研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 样品的制备与表征 | 第19-29页 |
| ·化学试剂及仪器 | 第19-20页 |
| ·水溶液法制备ZnO薄膜 | 第20-21页 |
| ·敏化-活化 | 第20-21页 |
| ·薄膜的沉积 | 第21页 |
| ·水热法制备ZnO薄膜 | 第21-22页 |
| ·ZnO种子层的制备 | 第21-22页 |
| ·薄膜的沉积 | 第22页 |
| ·样品的表征 | 第22-29页 |
| ·X射线衍射 | 第22-23页 |
| ·扫描电子显微分析(ESM) | 第23-25页 |
| ·光致发光(PL) | 第25页 |
| ·四探针法测量薄膜的方块电阻 | 第25-28页 |
| ·场致电子发射 | 第28-29页 |
| 第三章 水溶液法制备ZnO薄膜及其性能的研究 | 第29-38页 |
| ·ZnO纳米结构的生长机理 | 第29-30页 |
| ·温度对ZnO纳米结构的影响 | 第30-32页 |
| ·温度对ZnO结构和形貌的影响 | 第30-32页 |
| ·温度对ZnO发光性能的影响 | 第32页 |
| ·浓度对ZnO纳米结构形貌的影响 | 第32-34页 |
| ·退火及冷却速率对ZnO纳米结构的电学、光学性能的影响 | 第34-38页 |
| 第四章 水热法制备ZnO薄膜及其性能的研究 | 第38-50页 |
| ·ZnO纳米结构的生长机理 | 第38-39页 |
| ·种子层对ZnO纳米棒结构的影响 | 第39-40页 |
| ·温度对ZnO纳米棒薄膜的影响 | 第40-41页 |
| ·浓度对ZnO纳米棒薄膜结构的影响 | 第41-42页 |
| ·Al~(3+)掺杂对ZnO纳米棒薄膜的影响 | 第42-45页 |
| ·pH值对ZnO形貌的影响 | 第45-47页 |
| ·场发射性能的测试 | 第47-50页 |
| 第五章 结论 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 研究生期间发表的论文 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |